MOS集成电路的基本制造工艺 .ppt

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2021-03-17 发布于湖北
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1.2 MOS集成电路的基本制造工艺;精品资料; 你怎么称呼老师？如果老师最后没有总结一节课的重点的难点，你是否会认为老师的教学方法需要改进？你所经历的课堂，是讲座式还是讨论式？教师的教鞭 “不怕太阳晒，也不怕那风雨狂，只怕先生骂我笨，没有学问无颜见爹娘 ……” “太阳当空照，花儿对我笑，小鸟说早早早……”;CMOS工艺技术是当代VLSI工艺的主流工艺技术，它是在PMOS与NMOS工艺基础上发展起来的。其特点是将NMOS器件与PMOS器件同时制作在同一硅衬底上。 CMOS工艺技术一般可分为三类，即 P阱CMOS工艺 N阱CMOS工艺双阱CMOS工艺;P阱CMOS工艺;P阱CMOS工艺;N阱CMOS工艺;N阱CMOS工艺;N阱CMOS芯片剖面示意图;双阱CMOS工艺;双阱CMOS工艺;双阱CMOS工艺;双阱CMOS工艺主要步骤;双阱CMOS工艺主要步骤;MOS工艺的自对准结构;自对准工艺示意图;自对准工艺; 无定形硅;锑离子;氩;炭化硅