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IC芯片测试设备机械抓手的速度测控 导语：?计了集成电路芯片测试设备机械手的速度测量装置，考虑了机械手运动过程中的振动以及气缸轴老化、端部生锈所造成的运动速度与行程不稳定因素。 摘要：设计了集成电路芯片测试设备机械手的速度测量装置，考虑了机械手运动过程中的振动以及气缸轴老化、端部生锈所造成的运动速度与行程不稳定因素。根据测控参数对设备进行精确的调整，巧妙地解决了测试设备机械手运动速度与行程控制不良所引发的芯片失效问题，有效地降低了芯片的废品率。1 引言 当今世界，芯片的封装尺寸越来越小，纳米芯片制造工艺已成为芯片制造业的主流。制造工艺的日益发展增加了加工和测试难度，芯片的大规模生产过程中对芯片失效问题的分析和测试就尤为重要。本文作者设计的测速仪主要用于Advantest（爱德万）M6751/T5375测试设备中/。测速仪由两部分组成：机械手部分用于抓取芯片放人（取出）专用的测试仓；测试机部分主要用于对芯片功能的测试。 由于测试机一次并行测试多达32个IC，这就要求机械手能以最快的速度抓起和放下芯片。AdvantestM6751机械手组件包括4个小吸头，每个吸头可以独立地上升和下降，分别由一个微型SMC气缸驱动。4个吸头都拾起和放下芯片重复8次后装填完32个IC，整个组件再进行X和r方向的移动。由于测试速度的要求比较高，不得不把4个驱动气缸的速度调到尽可能快，但是速度太快又会导致芯片打坏，尤其如vfBGA封装形式的硅片很薄，高速度抓取很容易导致芯片被打坏，造成严重的质量问题，因此必须在保证质量的前提下来提高气缸的速度。2 测试机组的基本介绍 Advantest M6751A/6751AD测试设备是在M6741A基础上开发而成的，它配置了新的控制装置以更好地提高产能，是每小时测试产量很高的新型存储器测试机组合，能达到每小时4500个被测器件的高产能；采用了触摸屏使操作界面更为人性化；使用Win95以上的配置，允许基于SEMI规定的标准协议开放系统配置，被广泛用于IC测试中。但是，M6751没有自带速度测试功能，本文作者设计测速装置的目的是为了使该设备机械抓手具有速度测控功能。 2.1 机械手图1 AdvantestM6751系列机械手 AdvantestM6751系列机械手是与测试机配套使用的设备，它对多种封装形式的芯片都能适用，从较老的TSOP、uBGA封装乃至目前流行的vfBGA、SCSP封装等。机械手的内部组件分成三块内容：料盘转移、芯片转移和测试转移。如图1所示，左边是装载机械手，右边是卸载机械手，两者的机械原理相同。机械抓手的动作过程如下：马达是机械抓手的驱动源，系统发送指令给驱动电路，再由集成驱动电路控制气缸向下运动，真空发生器抽真空吸取芯片，命令气缸向上运动，从料盘位置移动到测试盘位置，再发送指令控制气缸向下运动，释放真空的同时吹气，使芯片在测试盘中放置平整，然后气缸向上运动，回到初始位置，完成芯片从料盘到测试盘的操作。工作过程中如果气缸运动速度过快，很可能产生机械手的抖动而使吸附在机械手上的芯片位置发生改变，也会使芯片在放置人测试盘时产生斜放，它就会对后道的测试机测试工序造成两种后果，一种是接触不良，导致无法进行测试；另一种就是芯片在测试机上受压固定时被打碎。同理，机械手的抖动会使芯片放置到料盘时的位置也发生偏移，多盘料盘叠在一起，未放置人料盘定位槽的芯片一经挤压容易被压碎或者把芯片背面的焊球压坏，产生废品。另外，M6751型机械手的SMC气缸轴使用45#钢，长期使用易老化和端部生锈，造成运动速度不稳定而易引发芯片失效。图2是机械手的4个吸头及其驱动示意图，九是运动行程约12mm。气缸驱动轴心上下运动，带动头部由橡胶制成的具有很好密封性的梯形真空吸嘴上下运动。本设计的测速仪能对机械抓手上下运动速度与行程进行精确的测量，并根据测量结果对气缸的运动速度与行程进行电气与机械调整，控制机械抓手的速度与行程。 2.2 测试机图2 M6751的4个吸头及其驱动的示意图 测试机部分由工作站、计算机主机、测试头和IC成品测试界面接口板等组成。能测试芯片产品在不同温度条件下的性能，并保证每颗芯片都能符合其功能参数要求。按照测试的结果将元件放人适当的卸载区域。工作站控制所有的系统功能，并且下载测试程序和获得测试结果；计算机主机包含了测试电路主板以及必要的电源供应；测试头包含了电子别针插件，用来接触芯片，测试并分配主板信号到每个芯片引脚；IC成品测试界面接口板是主板、测试头和芯片的连接部分。[b]3 机械抓手测速仪的电路设计 3.1 电路结构图[/b][align=cent