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潍 坊 学 院 教 案 课 题 真空的获得与测量 课 时 6 教学目的 目的：1、了解真空泵、真空计的工作原理。 与 2、了解真空泵的结构和操作方法 要 求 要求：掌握低真空、高真空的获得、测量的方法 教学重点 重点：真空泵、真空计的工作原理。 与 难点：仪器的操作方法。 难 点 主 要 内 容 及 步 骤 备 注 一、原理 （一）真空的获得—真空泵 1、机械泵： 利用机械的旋转造成吸气、 排气过程以获得真 空。 机械泵的极限真空度为： 1 10 1 P a 注意事项：防止机械泵油倒渍。 教 1、油扩散泵： 工作范围： 10 1 ~ 10 6 P a 。通常以机械泵作为扩散泵 学 的前级泵。 注意事项：真空度达 5P a 方可开扩散泵加热器。 过 2、低温吸附泵 利用固体表面温度足够低时可吸附气体分子的原理而制。 可达 7 10 2 P a 的真空度 程 3、离子泵：利用正离子对钯原子的轰击， 钯原子在沉积至 阳极的过程中，将真空室内气体分子湮没的原理而制。 可达 10 8 P a 的真空度 （二）真空的测量—真空计 1、热电偶真空计—低真空的测量 2、电离真空计—高真空的测量 注意事项： 当真空度低于 1 10 1 P a 时，不能接通电离真空计， 因为过高的离子流将烧毁电离规管。 二、实验内容 1、低真空的获得与测量 2、高真空的获得与测量 3、结束 加强分析各种仪器的工作原理，使学生基本掌握了仪器的操作方法。 授 课 效 果 分 析 总 结