微电子加工工艺总结.docxVIP

  1. 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
  2. 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  3. 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
高温多数关键工艺是在高温下实现如热氧化扩散退火高温多数关键工艺是在高温下实现如热氧化扩散退火分立器件和集成电路的区别分立元件每个芯片只含有一个器件集成电路每个芯片含有多个元件平面工艺的特点平面工艺是由于年提出的在这项技术中整个半导体表面先形成一层氧化层再借助平板印刷技术通过刻蚀去除部分氧化层从而形成一个窗口结形成的方法合金结方法接触加热将一个型小球放在一个型半导体上加热到小球熔融冷却型小球以合金的形式掺入半导体底片冷却后小球下面形成一个再分布结晶区这样就得到了一个结合金结的缺点不能准确控制结的位

高温 多数关键工艺是在高温下实现, 如:热氧化、扩散、退火 。 高温 多数关键工艺是在高温下实现, 如:热氧化、扩散、退火 。 1、 分立器件和集成电路的区别 分立元件:每个芯片只含有一个器件;集成电路:每个芯片含有多个元件。 2、 平面工艺的特点 平面工艺是由 Hoerni 于 1960 年提出的。在这项技术中,整个半导体表面先形成一层氧化层,再借助平板印刷技术,通 过刻蚀去除部分氧化层,从而形成一个窗口。 P-N 结形成的方法: ① 合金结方法 A、接触加热:将一个 P型小球放在一个n型半导体上,加热到小球熔融。 B、 冷却: P 型小球以合金的形式掺入半导体底片,冷却后,小球下面形成一个

文档评论(0)

yusuyuan + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档