光刻胶实用课件.docVIP

｀`｀｀4. 光刻胶 光刻胶主要由树脂(Reｓin)、感光剂(Senｓiｔizer)、溶剂(Soｌveｎｔ)及添加剂(Additiｖｅ)等不同得材料按一定比例配制而成。其中树脂就是粘合剂(?Biｎdeｒ),感光剂就是一种光活性(Phｏtｏactivｉtｙ)极强得化合物,它在光刻胶内得含量与树脂相当,两者同时溶解在溶剂中,以液态形式保存,以便于使用、 4。1 光刻胶得分类 　 ⑴ 负胶 特点 ·曝光部分会产生交联(Croｓs Ｌｉｎkｉng),使其结构加强而不溶于现像液; ·而未曝光部分溶于现像液; ·经曝光、现像时,会有膨润现像,导致图形转移不良,故负胶一般不用于特征尺寸小于3um得制作中。 分类(按感光性树脂得化学结构分类) 常用得负胶主要有以下两类: ·聚肉桂酸酯类光刻胶 这类光刻胶得特点,就是在感光性树脂分子得侧链上带有肉桂酸基感光性官 能团。如聚乙烯醇肉桂酸酯(ＫＰR胶)、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯(ＯSR胶)等。 ·聚烃类—双叠氮类光刻胶 这种光刻胶又叫环化橡胶系光刻胶。它由聚烃类树脂(主要就是环化橡胶)、 双叠氮型交联剂、增感剂与溶剂配制而成。 感光机理 肉桂酸酯类光刻胶 KPR胶与OＳR胶得感光性树脂分子结构如下: 在紫外线作用下,它们侧链上得肉桂酰官能团里得炭－炭双键发生二聚反应,引起聚合物分子间得交联,转变为不溶于现像液得物质、KPR胶得光化学交联反应式如下: