材料分析测试方法十一透射电子显微镜.pptxVIP

第1页/共36页透射电子显微镜一、透射电子显微镜的结构二、透射电子显微镜的工作原理第2页/共36页一、透射电子显微镜的结构透射电镜的组成部分：（1）电子光学系统电镜的核心部分，为直立积木式结构（镜筒），上面是照明系统，中间是成像放大系统，下面是观察与记录系统；（2）真空系统 为镜筒提供10-4 ～10-6 Torr的真空度（3）电源系统（4）循环冷却系统（5）控制系统第3页/共36页一、透射电子显微镜的结构 透射电镜电子光学系统的基本结构、原理与光学显微镜很相似，均包括三个部分：照明系统成像放大系统观察记录系统第4页/共36页一、透射电子显微镜的结构透射电镜电子光学系统图 透射电子显微镜的剖面图 第5页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统组成部分：电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置作用：提供一束亮度高、相干性好（能量稳定、平行度好）、照明孔径角小和束流稳定的照明源。通过聚光镜的控制可以实现从平行照明到大会聚角的照明条件。为满足中心暗场成像的需要，照明电子束可在2?~3?范围内倾斜。第6页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统A、电子枪类型：热电子发射型、场发射型热电子发射型的热阴极三极电子枪：阴极：灯丝（钨、LaB6）阳极：中央带小孔的金属板， 接地（给电子加速）栅极：控制极，使电子束强烈 会聚（成实际电子源）图 电子枪结构示意图1：阴极； 2：栅极； 3：阳极；4：电子束交叉点 第7页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统（a）自偏压回路（b）电子枪结构图 电镜中唯一的静电透镜，等电位面在空间呈弯曲状；电子枪交叉点即所谓的电子源，交叉点处电子束直径约几十微米。第8页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统阴极材料：六硼化镧（LaB6）为了提高照明亮度，随后发明了电子逸出功小的材料作阴极。它比钨丝阴极的亮度高1～2数量级，而且使用寿命增长。图LaB6电子枪的结构原理图 第9页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统场发射电子枪（FEG：field emission gun）目前亮度最高的电子枪。在金属表面加一个强电场，金属表面的势垒就变小，由于隧穿效应，金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来，这种现象称为场发射。图 场致发射电子枪结构原理图 第10页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统表 各种电子枪特性比较类型钨丝LaB6热场发射冷场发射亮度(200kV)/(A·cm-2·sr-1)5×1055×1065×1085×108光源直径/μm 20~50 1~100.01~0.10.01~0.1阴极温度/K280018001600~1800300工作真空/Pa10－310－510－710－8寿命/h60~20010001000量发散度/eV2.31.50.6~0.80.3~0.5第11页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统B、聚光镜系统（Condenser Lens) 聚光镜用来会聚电子枪发出的电子束，以最小的损失照明样品（即将电子枪第一交叉点的电子束聚集到试样上），并调节控制该处的照明强度、孔径角和束斑尺寸。照明系统光路图第12页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统双聚光镜系统：第一聚光镜：短焦距的强激磁透镜束斑缩小率约为1/10~1/50，将电子枪第一交叉点束斑（直径50 μm ）缩小为1~5μm；第二聚光镜：长焦距的弱激磁透镜适焦时放大倍数为1~2倍；样品表面上的电子照明束斑直径为2~10μm；照明系统光路图第13页/共36页一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统双聚光镜系统优点：聚光镜和物镜之间有足够的空间放置样品和其他装置；方便调节束斑尺寸，满足满屏要求和亮度要求，电子束的平行性和相干性都较好；第14页/共36页一、透射电子显微镜的结构C、聚光镜光阑一般称之为：第二聚光镜光阑，安装在第二聚光镜下方的焦平面位置；作用：限制照明孔径角，可以挡掉高角度散射即远离光轴的电子，提高电子束的平行性和空间相干性，控制照射到样品上的光斑大小和光照强度。光阑孔直径：20～400 ?m第15页/共36页一、透射电子显微镜的结构聚光镜光阑第16页/共36页DFBF一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统C、垂直照明和倾斜照明—电磁偏转器物镜光阑：选择透射斑为明场像；衍射斑为暗场像；远轴电子，球差和像散严重，图像质量不高；第17页/共36页一、透射电子显微镜的结构C、电子束倾斜与平移装置电磁偏转器：作用是使入射电子束平移和倾斜。第18页/共36页一、透射电子显微镜的结构C、电子束倾斜与平移装置通过电磁偏转器使入射电子束平移和倾斜。中心暗场成像CDF：入射电子偏转2θ，衍射束平行于光轴，图像分辨率高；第19页/共