关于射频电源匹配器的产生低温等离子体的应用原理.docxVIP

关于射频电源介绍与应用 射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中. 现代的射频电源有了长足发展，由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源，功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦，频率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等，而应用也从以前的真空领域扩展到其他领域，半导体、美容等。 [1] 射频电源产生低温等离子体 射频电源产生等离子的原理，是在一个密闭的真空压力容器内，利用真空泵获得一定的真