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成化， 是所有近现代化产业发展前进的永恒追求。 成化， 是所有近现代化产业发展前进的永恒追求。 MEMS 也 文了解 MEMS 产业链， 中国机会来了 版权声明： 本文来自 《 国海证券 》，如您觉得不合适， 请与我们联系， 谢谢。微机电系统 （ Micro-Electro Mechanical System ）是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置， 其内部 结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。简 单理解， MEMS 就是将传统传感器的机械部件微型化后， 通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔 TSV 等技术把器件固 定在硅晶元 （ wafer ）上，最后根据不同的应用场合采用特殊 定制的封装形式， 最终切割组装而成的硅基传感器。受益 定制的封装形式， 最终切割组装而成的硅基传感器。 受益 于普通传感器无法企及的 IC 硅片加工批量化生产带来的 成本优势， MEMS 同时又具备普通传感器无法具备的微型 化和高集成度。 传统 ECM 驻极体电容麦克风 /Apple Watch 楼氏 MEMS 硅麦克风 MEMS 是替代传统传感器的唯一选 择 诸如最典型的半导体发展历史： 从 20 世纪初在英国物 理学家弗莱明手下发明的第一个电子管，到1943 理学家弗莱明手下发明的第一个电子管，到 1943 年拥有 17468 个电子三极管的 ENIAC 和 1954 年诞生装有 800