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.;Vacuum Pump Classifies;Dry Pump; The Working Principle;Dry pump用在chamber由大氣壓下直接抽真空，可以維持進出口 壓差105倍。 Dry pump有電源（電源使馬達帶動螺杆式轉子轉動)。 N2 purge(稀釋防止particle沉積在間隙内），而 且N2形成气帘防止 rotor润滑油进入，产生污染。 N2可以调整Ballast来选择性调整N2流量。 Cooling water(防止溫度過高使pump無法運轉)。; Ppracticality Diagram;The Characteristic Oil temperature controlled有很長的lifetime Oil pump中oil的品質對pump有很大影響，油品好， pump抽气能力強，使用時間長。 The Oil Function 潤滑 降溫 密封; The Pumping Procedure; CRYO Pump; Principle Diagram; The Function Description;Regeneration Procedure; Roughing Close N2 valve Open valve (if blow 50mtorr) Chilling Down 通入He进行chilling ， until T=10±5k (利用冷冻原理，用compressor进行chilling ，循环使用);Turbo Pump;Principle Diagram; The Turbo Pump Protection; The Working Principle 真空油被加热之后，获得极高的热能 分子由喷嘴处向下喷射，且与周围气体分子碰 撞，由动量转移 通过外接低真空pump将聚集在出口处的气体 分子带走 由此导致入口处与出口处因气体分子数浓度不 同而产生扩散现象;; Cold Head能防止油蒸气回流至Chamber Fore line管路中的Buffer防止油蒸气被Pump抽走 油挡板和冷凝井使用都是为了进一步防止油蒸气 回流至真空系统 加Pump油时，最好由前级口灌入，也可由进气 口添加，须避免最顶部之喷嘴罩杯被油沾湿，否则 易造成蒸气回流; The Comparison of Pumps;End Thanks!;Vacuum Pump Classifies; Principle Diagram; The Working Principle 真空油被加热之后，获得极高的热能 分子由喷嘴处向下喷射，且与周围气体分子碰 撞，由动量转移 通过外接低真空pump将聚集在出口处的气体 分子带走 由此导致入口处与出口处因气体分子数浓度不 同而产生扩散现象; The Comparison of Pumps;End Thanks!