热工参数测量与控制.pptVIP

第四章 热工参数的测量与控制 ;第一节 概述 ; 传感器(包括变送器)、执行器的投资约占整个计算机控制系统总投资的40%～70%，同时传感器、执行器的故障率约占计算机监控系统总故障的60%以上。因此传感器、执行器不仅是控制系统的重要组成部分，而且也是一个较薄弱的环节。 传感器容易出现的主要故障是无测量信号或者测量数据不准。执行器的故障主要是驱动器失灵、发生误操作。 ;第二节 传感器;2.1 传感器的发展和作用; 埃及王朝时代开始使用的天平, 一直延用到现在。利??液体膨胀进行温度测量在16世纪前后就已出现。19世纪建立了电磁学的基础, 当时建立的物理法则直到现在作为各种传感器的工作原理仍在应用着。  以电量作为输出的传感器，其发展历史最短, 但是随着真空管和半导体等有源元件的可靠性的提高,这种传感器得到飞速发展。目前只要提到传感器，一般是指具有电输出的装置。由于集成电路技术和半导体应用技术的发展, 研究开发了性能更好的传感器。随着电子设备水平不断提高以及功能不断加强, 传感器也越来越显得重要。世界各国都将传感器技术列为重点发展的高新技术, 传感器技术已成为高新技术竞争的核心技术之一, 并且发展十分迅速。 ;传感器技术的发展十分迅速的原因： (1) 电子工业和信息技术促进了传感器产业的相应发展。 (2) 政府对传感器产业发展提供资助并大力扶植。 (3) 国防、 空间技术和民用产品有广大的传感器市场。 (4) 在许多高新技术领域可获得用于开发传感器的理论和工艺。  从市场来看, 力、压力、加速度、物位、温度、湿度、水分等传感器将保持较大的需求量。传感器的市场结构如表1所示。  ;表 1 传感器市场结构 ; 近年来, 由于微电子技术、 微机械加工技术、 纳米技术的迅速发展, 传感器领域的主要技术也将在现有基础上予以延伸和提高:  1）微机械加工技术（MEMT）和纳米技术将得到高速发展。采用MEMT制作的传感器和微系统, 具有体积微小、 低成本、高可靠性等独特的优点。 2）新型敏感材料将加速开发, 微电子、光电子、生物化学、信息处理等各学科的互相交叉、渗透和综合利用, 将会研制出一批新颖、先进的传感器。 3）敏感元件与传感器的应用领域将得到新的开拓, 二次传感器和传感器系统的应用将大幅度增长。 ; 展望未来, 传感器将向着小型化、 集成化、 多功能化、智能化和系统化的方向发展, 由微传感器、 微执行器及信号和数据处理器总装集成的系统越来越引起人们的广泛关注。传感器市场将会迅速发展, 并会加速新一代传感器的开发和产业化。 ;2.2 什么是传感器;图 1 传感器组成方块图;2.3 传感器的分类;（2）按工作原理分类, 可分为应变式、电容式、电感式、 电磁式、压电式、热电式等传感器。  （3）根据传感器使用的敏感材料分类, 可分为半导体传感器、光纤传感器、陶瓷传感器、金属传感器、高分子材料传感器、复合材料传感器等等。 （4）按照被测量分类, 可分为力学量传感器、热量传感器、磁传感器、光传感器、放射线传感器、气体成分传感器、液体成分传感器、离子传感器和真空传感器等。 ;（5）按能量关系分类，可分为能量控制型和能量转换型两大类。所谓能量控制型是指其变换的能量是由外部电源供给的, 而外界的变化（即传感器输入量的变化）只起到控制的作用。 如用电桥测量电阻温度变化时, 温度的变化改变了热敏电阻的阻值, 热敏电阻阻值的变化使电桥的输出发生变化（注意电桥的输出是由电源供给的）。;（6）按传感器是利用场的定律还是利用物质的定律, 可分为结构型传感器和物性型传感器。二者组合兼有两者特征的传感器称为复合型传感器。 场的定律是关于物质作用的定律, 例如动力场的运动定律、电磁场的感应定律、光的干涉现象等。利用场的定律做成的传感器, 如电动式传感器、电容式传感器、激光检测器等。 物质的定律是指物质本身内在性质的规律。例如弹性体遵从的虎克定律、晶体的压电性、半导体材料的压阻、热阻、光阻、湿阻、霍尔效应等。利用物质的定律做成的传感器, 如压电式传感器、热敏电阻、光敏电阻、光电管等。 ;（7）按依靠还是不依靠外加能源工作, 可分为 有源传感器：敏感元件工作需要外加电源 无源传感器：敏感元件工作不需外加电源 （8）按输出量是模拟量还是数字量, 可分为： 模拟量传感器 数字量传感器 ; 表2列出了传感器的分类。尽管此处列出的传感器分类有较大的概括性, 但由于传感器的分类不统一, 因而这种分类很难完备, 例如有的学者将传感器作了如下分类: (1)压力；(2)力/荷重