加热式气压微传感器与电路集成技术.docxVIP

加热式气压微传感器与电路集成技术 随着微电子、通信、计算机、多媒体等技术的发展，人们对集成系统的需求越来越大。集成系统主要是以集成电路为基础的片上系统（即SOC），也就是指在单一硅芯片上实现信号采集、转换、存储、处理和I/O等功能,或者说在单一硅芯片上集成数字电路、模拟电路、信号采集和转换电路、存储器、MPU、MCU、DSP、MPEG等,以实现一个系统的功能。SOC不仅可以增强系统功能，减小整机的体积、功耗，而且可以降低整机成本，所以成为微电子产业界最热门的话题，并有望带来信息产业新的技术革命sup/sup。 几乎任何电子系统都离不开将非电信息转换成电信号的传感器，所以在一个完整的集成系统中，传感器往往也是一个极其重要的部分。近些年来，随着微机械加工技术的发展，出现了多种微型传感器sup[2-4]/sup，这些传感器不仅具有尺寸小、重量轻、批量生产成本低等优点，而且有可能与其信号处理电路集成在同一芯片上。将传感器与处理电路集成在同一芯片上不仅可以减小传感器与驱动电路、后续处理电路之间连线引入的噪声，而且可以大大减小整个系统的体积，在制造成本上往往也低于各种传感器和专用信号处理电路芯片分别加工，所以将微传感器与电路集成在同一芯片上已成为SOC与传感器领域的一个重要方向。如摩托罗拉的*****压力传感器，集应变仪、温度补偿、校准和信号调理于同一芯片，且经过计算机的激光修正，具有精度高、补偿效果好、性能可靠、使用方便等优点。ADI公司生产的表面微机械电容式加速度计单片集成了微机械质量块和支撑弹簧以及相关电路，实现了同加速度成正比的模拟信号输出；Honeywell公司推出的电容式集成湿度传感器也把湿度传感器与调理电路集成在了同一基片上；而利用基极-发射极结电压与温度成正比的关系研制的电流型和电压型集成温度传感器，如AD590,AD592,TMP17等，早已得到广泛运用。 加热式气压微传感器利用气体热导率与气压的关系进行工作，不仅有尺寸小、功耗低、结构简单等优点，而且解决了传统电阻式真空传感器热响应慢等缺点，有望在某些领域取代传统电阻式真空度传感器。除了传统运用领域外，微传感器还可使加热式真空传感器运用范围扩展到微电子封装、集成式真空计、便携式气压测试仪与气体分析仪等领域。本文介绍加热式气压微传感器的工作原理、处理电路与工艺集成技术。 2 加热式气压微传感器工作原理 图2 恒温模式 图2为加热式气压微传感器的扫描电镜图。如图所示，矩形微热板通过四个支撑桥支撑悬空，微热板下气隙高度为0.5μm，微热板上有一蛇形电阻，既作为加热电阻使微热板工作在一定温度，又作为温敏电阻敏感微热板的温度变化。当气压增加时，气体导热系数增加，微热板通过气体导热消耗的加热功率增加。这样，若加热功率保持恒定，微热板温度会降低；若要微热板温度保持恒定，必须增加加热功率。所以，通过检测加热电阻上相应电信号的变化可以测量气体的压力。温度补偿电阻的材料与加热电阻一样，并在制作加热电阻的同时制作，且位于衬底上，所以其大小只与环境温度有关。 3 传感器信号处理电路 加热式气压微传感器的测试电路通常有恒温、恒流、电桥三种方式。恒温模式是保持传感器电阻Rs的温度不变，可以避免恒流与电桥模式传感器在气压较低时温度过高或气压较高时温度过低的情况，有利于提高传感器的灵敏度、稳定性，扩大测量范围，是目前加热式气压传感器普遍采用的工作模式。恒温测试电路输出的信号比较弱，通常需要放大才能供后续电路使用，同时环境温度实际上也不是固定的，所以对传感器进行温度补偿必不可少。气压微传感器信号处理电路应该包括测试电路、放大电路、温度补偿电路以及滤波电路。 图2为传感器信号处理电路图。当测试环境气压发生变化时，运算放大器A1调节Rs两端的电压使Rs大小始终等于Rt与Rd之和,Rd为温度补偿电阻，Rt为温度设定电阻，所以通过监测Rs两端电压的大小可以进行气压测量。但是，由于采用了正反馈，直接测量Rs两端获得的电压有交流成分，所以，在Rs两端并联一电容C1滤波；A2构成电压跟随器，具有很大的输入电阻，可以消除后续电路对前面恒温电路的影响；I和Rf以及后面的比例放大，不仅可以放大传感器信号，还使输出信号在0～5V或0～10V范围内，以便连接后面的AD电路。之所以采用恒流源I，是因为恒流源的内阻很大，对前面恒温电路不会产生影响。 所以，通过该电路可以使传感器电阻温度保持恒定，而电路的输出信号可以调节在AD所要求的输入电压范围内。 图３　微传感器与双极型集成电路单片集成工艺流程简图 4 工艺集成 传感器与电路单片集成的难点是在工艺上如何将微传感器及其电路集成在同一芯片上。这需要将集成电路工艺和微传感器的微机械加