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MEMS压力传感器简介及工艺;目录;MEMS压力传感器就是利用MEMS技术加工制造的压力传感器。
作用是将压力这个物理量转化为电量来测量。
特点:体积小、重量轻、精度高、温度特性好。
;;;;;MEMS的制造技术主要包括两类技术:集成电路技术与微机械加工技术。这两类加工技术的基本材料都是用硅。
集成电路技术:包括光刻、扩散、氧化等。
微机械加工技术:体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(利用X光深层曝光、电铸、机械加工)等。
;一种基于MEMS的电容压力传感器主要制作工艺过程如下:
;;图i:干法刻蚀;在所有的微系统制造工艺中,工件的几何形状由掩模来定义,针对所设计的空腔型三维形体,通过腐蚀去掉多余的牺牲材料,由离子注入与扩散来控制局部材料的性质与特点,以达到改变选择区域硅基底的电导的目的。;总结:
基于mems电容式压力传感器的设计与mems工艺制作,由工件几何形状决定了加工的工艺流程,而工艺是制约微机电系统器件能否达到设计要求的关键。能够通过改善敏感元件、电容器的物理特性,改变传感器的尺寸,进一步提高传感器的工作范围、灵敏度等。;感谢您的聆听！
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