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第六章 扩散与固态相变
第一节 扩散定律及其应用
第二节 扩散机制
第三节 影响扩散的因素与扩散驱动力
第四节 几个特殊的有关扩散的实际问题
第五节 固态相变中的形核
第六节 固态相变的晶体成长
第七节 扩散型相变
第八节 无扩散相变
11924I
第一节 扩散定律及其应用
一、扩散第一定律
图7-1 间隙原子在浓度梯度下的无规跳动
11924I
第一节 扩散定律及其应用
图7-2 原子热运动
的无规行走模型
11924I
第一节 扩散定律及其应用
图7-3 菲克第二定律
推导的示意图
11924I
第一节 扩散定律及其应用
二、扩散第二定律
1. 钢的渗碳
图7-4 误差函数图形
11924I
第一节 扩散定律及其应用
表7-1 误差函数
11924I
第一节 扩散定律及其应用
图7-5 误差函数
2. 半导体硅片的掺杂
11924I
第一节 扩散定律及其应用
图7-6 硅片掺杂渗硼过程
a) 在SiO2层上形成“窗口”,准备渗硼 b) 首先形成被硼饱和的薄层
c) 继而深层扩散,含硼量不变
11924I
第一节 扩散定律及其应用
图7-7 薄膜Au 向晶体两端扩散溶质浓度按正态分布
11924I
第二节 扩散机制
一、间隙扩散和空位扩散
1. 间隙扩散
图7-8 间隙扩散
a) 间隙原子在面心立方八面体间隙位置
b) 间隙原子在体心立方八面体间隙位置
11924I
第二节 扩散机制
图7-9 lgD-1/T图
11924I
第二节 扩散机制
表7-2 扩散数据
11924I
第二节 扩散机制
2.空位扩散
图7-10 原子跃迁和空位扩散
11924I
第二节 扩散机制
表7-3 几种金属的自扩散激活能
11924I
第二节 扩散机制
二、互扩散和柯肯达尔效应
图7-11 柯肯达尔的实验样品
11924I
第二节 扩散机制
三、扩散系数的计算
1. 间隙原子在任何立方晶系中的扩散
2. 空位扩散和间隙扩散
图7-12 面心立方(111)
面上的空位扩散
1192
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