光刻胶参数及光刻工艺.pdfVIP

光刻胶参数及光刻工艺 1、正性光刻胶 RZJ-304 规格 RZJ-304 ： 25mpa ·s ， 50mpa ·s （粘稠度），配用显影液： RZX-3038 匀胶曲线 注：粉色为 50cp，蓝色为 25cp 推荐工艺条件 ①涂布： 23 ℃，旋转涂布，膜厚 1.0 ～ 3.5 μm ②前烘： 热板 100 ℃× 90sec 2 2 2 2 ③曝光： 50 ～ 75mj/cm （计算方法 : 取能量60mj/cm 取光强 400 × 10um/cm ， 则 60/40=1.5s ） ④显影： 23 ℃， RZX-3038 ，1min ，喷淋或浸渍 ⑤清洗：去离子水 30sec ⑤后烘： 热板 120 ℃× 120sec 2 、正性光刻胶 S1813 规格 S1813，配用显影液为 ZX-238 匀胶曲线 推荐工艺条件