第7讲_电子光学基础_111028.pptx

第二部分 电子显微分析;一、电子光学基本知识1 分辨本领 1) 人的眼睛仅能分辨0.1~0.2mm的细节2) 光学显微镜，人们可观察到象细菌那样小的物体。3) 用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是 不可能的，受光学显微镜分辨本领(或分辨率)的 限制。分辨本领： 指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。通常以物镜的分辨本领来定义显微镜的分辨本领。;;; 光学透镜分辨本领:  式中：λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，n 是透镜上下方介质折射率，n·sinα或N·A称为数值孔径。; 在介质为空气的情况下，任何光学透镜系统的N·A值小于1。 γ ≈ 1/2λ 波长是透镜分辨率大小的决定因素。 透镜的分辨本领主要取决于照明束波长λ。若用波长最短的可见光(λ=400nm)作照明源，则  γ =200nm 200nm是光学显微镜分辨本领的极限; 用于显微镜的一种新的照明源 — 电子束!  1924年法国物理学家德.布罗意(De Broglie)提出一个假设：运动的微观粒子(如电子、中子、离子等)与光的性质之间存在着深刻的类似性，即微观粒子的运动服从波-粒两象性的规律。两年后通过电子衍射证实了这个假设，这种运动的微观粒子的波长为普朗克常数 h 对于粒子动量的比值，即 λ=h/mv 对于电子来说，这里， m 是电子质量［kg］， v 是电子运动的速度［m·s-1］。; 初速度为零的自由电子从零电位达到电位为U (单位为v)的电场时电子获得的能量是eU： 1/2mv2 = eU 当电子速度v 远远小于光速C 时，电子质量m 近似等于电子静止质量m0，由上述两式整理得：; 将常数代入上式，并注意到电子电荷 e 的单位为库仑， h的单位为J·s，得到：  ［nm］ 加速电压与电子波长的关系 ; 当加速电压为100kV时，电子束的波长约为可见光波长的十万分之一。 因此，若用电子束作照明源，显微镜的分辨本领要高得多。 例：电磁透镜的孔径半角的典型值仅为10-2～10-3rad。如果加速电压为100kV，孔径半角为10-2rad，那么分辨本领为：  γ = 0.61×3.7×10-3/10-2 = 0.225 nm;二、电子在电磁场中的运动和电子透镜;静电透镜等位面及电子轨迹;静电透镜的缺点：; 电磁透镜的聚焦原理:通电的短线圈就是一个简单的电磁透镜，它能造成一种轴对称不均匀分布的磁场。穿过线圈的电子在磁场的作用下将作圆锥螺旋近轴运动。而一束平行于主轴的入射电子通过电磁透镜时将被聚焦在主轴的某一点;带有铁壳以及极靴的电磁透镜及磁场分布示意图;;会聚原理;;;磁透镜与光学透镜聚焦比较;电磁透镜装置：控制电子束的运动电磁透镜在成像时会产生像差。 像差分为几何像差和色差两类。 几何像差：由于透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的像差。 色差：由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的像差。; 透镜的实际分辨本领除了与衍射效应有关以外，还与透镜的像差有关。  光学透镜，已经可以采用凸透镜和凹透镜的组合等办法来矫正像差，使之对分辨本领的影响远远小于衍射效应的影响; 但电子透镜只有会聚透镜，没有发散透镜，所以至今还没有找到一种能矫正像差的办法。这样，像差对电子透镜分辨本领的限制就不容忽略了。;像差：球差、像散、色差等，其中，球差 是限制电子透镜分辨本领最主要的 因素。球差：用球差散射圆斑半径Rs和纵向球差 ΔZs两个参量来衡量。 Rs：指在傍轴电子束形成的像平面(也 称高斯像平面)上的散射圆斑的半径。 ΔZs：是指傍轴电子束形成的像点和远轴 电子束形成的像点间的纵向偏离距离。 ; ΔZs;;;;色差是由于入射电子波长（或能量）的非单一性造成。; 当加速电压为100kV及轴上磁场最大值H0=1.6×106A/m时，根据不同的假设求得的透射电镜理论分辨本领约为0.2-0.3nm，目前实际透射电子显微镜的点分辨率已接近于这个理论值。 二十世纪三十