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PAGE 4 TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章 绪论 3 1.1研究的背景及意义 3 1.1.1 研究的背景 3 表1.1 抛光应用领域实例 4 图1.1 工程机械抛光装置 5 1.1.2 研究的意义 6 1.2国内外研究现状 7 图 1.5 T.H?nsel 等人自主研发的离子束抛光系统 8 1.3 论文主要工作 8 第二章 滚型振动辅助抛光原理及装置设计 10 2.1 振动轨迹分析 10 图 2.1 压电叠堆 a,b 正交放置示意图 10 图2.2 生成的椭圆轨迹 11 2.2 滚型振动辅助抛光装置组成 11 图2.3 滚型振动辅助抛光装置示意图 12 2.3 滚型振动辅助抛光原理分析 12 图2.4 滚形振动辅助抛光装置的简易示意图 13 2.3.1 辅助抛光机构振动轨迹 13 2.3.2幅度对辅助抛光机构振动轨迹的影响 13 图2.5 不同幅度下辅助抛光机构振动轨迹 14 2.3.3相位差对辅助抛光机构振动轨迹的影响 14 图2.6 不同相位差下的辅助抛光机构振动轨迹 15 2.3.4 滚形振动辅助抛光装置的抛光路径 15 图2.7 a)滚形振动辅助抛光原理 b)滚形振动辅助抛光中的空间螺旋曲线 15 图2.8 a)滚形振动辅助抛光中的空间螺旋曲线 b) xz平面上的蘑粒P路径 c)xy平面中的蘑粒P运动路径 16 2.4 相关软件介绍 17 2.5 本章小结 17 第三章 辅助抛光机构的设计 18 3.1 辅助抛光机构组成结构 18 3.1.1 辅助抛光机构设计 18 图3.1 杠杆放大器示意图 18 图3.2 并联结构 19 图3.3 复合并联四杆机构 19 图 3.4 辅助抛光机构 20 3.1.2基于矩阵法的动力学分析 20 图3.5 辅助抛光机构图 21 图3.6右圆柔性铰链简化图 22 图3.7 柔度模型 25 3.1.3机构参数优化 26 3.1.4辅助抛光机构的静力学分析 26 图 3.8 划分网格图 27 图3.10 100N时x方向辅助抛光机构Mises云图 28 图3.9 100N时x方向辅助抛光机构应变云图 28 图3.11 100N时y方向辅助抛光机构应变云图 28 图3.12 100N时y方向辅助抛光机构Mises云图 28 图3.14 200N时x方向辅助抛光机构Mises云图 28 图3.13 200N时x方向辅助抛光机构应变云图 28 3.1.5辅助抛光机构的刚度和放大比分析 29 图3.16 200N时y方向辅助抛光机构Mises云图 29 图3.15 200N时y方向辅助抛光机构应变云图 29 图3.17 a)x方向输入力与输入位移关系图 b)x方向输入力与杠杆位移关系图 30 图3.18 a)y方向输入力与输入位移关系图 b)y方向输入力与杠杆位移关系图 31 图3.19 x方向输入位移与输出位移关系图 31 图3.20 y方向输入位移与输出位移关系图 32 3.1.6辅助抛光机构的模态分析 32 图3.21 辅助抛光机构的模态分析 32 3.2 辅助抛光机构整体布局 33 a、b-压电叠堆,c-摆台,d-支撑块,e-预紧螺钉,f-紧固螺钉,g-工件,h-并联式柔性铰链机构 33 图 3.22 辅助抛光机构示意图 33 3.3 辅助抛光机构加工 33 图 3.23 辅助抛光机构示意图 34 3.4 本章小结 34 第四章 立式Y、Z向运动滑台设计 35 4.1 滑台滚珠丝杠的设计 35 4.1.1 滚珠丝杠设计 35 4.1.2 计算载荷Fc 35 4.1.3 额定动载荷Ca的计算 35 4.1.4 稳定性验算 36 4.1.5 刚度验算 37 4.1.6 效率验算 37 4.1.7 电机的选择 37 4.2 立式Y、Z向运动滑台整体布局 38 图4.1 立式Y、Z向运动滑台整体布局 38 4.3 加工 38 图 4.2 立式Y、Z向运动滑台实物图 38 4.4本章小结 39 第五章 抛光滚平台的结构设计 40 5.1 抛光滚的结构设计 40 r-抛光滚,r1-抛光纸,r2-聚氨酯层,r3-内滚 40 图5.1 抛光滚的结构

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