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以刻蚀为主，专注于集成电路图形化工艺5
刻蚀设备市场规模：WFE 市场前三大产品9
全球刻蚀设备市场规模将超150 亿美元，约占设备市场的1/5 10
全球刻蚀设备市场竞争格局：刻蚀设备被国际三大寡头垄断 13
刻蚀设备国产化率20%-25%左右，高于众多其他工艺设备 14
中微：CCP 刻蚀居本土市场前列，ICP 刻蚀开启商业化之路16
CCP 与ICP 刻蚀技术比较 16
中
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