06光电子器件制备与测试技术实验.doc

一、光谱分析仪（AQ6370）的使用和AQ2200-211功率计测量光谱功率 实验目的 了解光谱分析仪（AQ6370）的结构 学会使用光谱分析仪测量光谱 学会使用AQ2200-211功率计 实验仪器 光谱分析仪（AQ6370）、AQ2200-211功率计 实验原理 利用衍射光栅测量光谱, 衍射光栅型光谱分析仪能够进行各种激光器和LED的光谱测量,具有测量波长范围宽、灵敏度高、动态范围大等优点。 实验内容与步骤 认识功能键 SKIPIF 1 0 2、开机校准 (1).打开电源 (2).光路准直 System - More 1/4 - OPTICAL ALIGNMENT (3).波长校准 System - More 1/3 - WL CALIBRATION (4). 自动扫描，自动调整分辨率，得到波长和功率的大致范围。 3、测量条件 （1）、设置测量需要的中心波长 （2）、设置波长范围 （3）、设置功率范围及刻度 （4）、设置分辨率，灵敏度 4、光谱测量 （1）、用光纤将光源接入光谱仪AQ6370进行测量 SKIPIF 1 0 （2）、AQ2200-142双波长FP-LD光源分析 分析参数： a. SMSR b. 峰值波长 c. 峰值功率 d．3dB带宽分析: 3dB带宽大小和.中心波长 SKIPIF 1 0 （3）AQ2200-211功率计模块的使用 AQ2200-211是AQ2200系列的高速长波传感器，当它安装在AQ2200系列的主机上时，它允许光功率计以高速、高精度测量。 二、光学多道分析器实验 实验目的 1 了解OMA的组成及工作原理； 2 学习使用OMA分析光谱的方法； 3 了解计算机在数据采集、分析处理中的应用； 4 分析可见光区的Hg灯光谱。 实验仪器 WGD-6型光学多通道分析器、Hg灯、氖灯。 实验原理 1．平面光栅的分光原理 光学多通道分析器原理为平行光束入射到平面光栅G（光栅平面的方位可由精密机械调节）时，将发生衍射，衍射时有光栅方程： SKIPIF 1 0 （3.4-1） 式中d是光栅常数，λ是入射光波长，k是衍射级次，θ为衍射角。由光栅方程可知，当光栅常数d一定时，不同波长的同一级主最大，除零级外均不重合，并且按波长的大小，自零级开始向左右两侧，由短波向长波散开。每一波长的主最大，在光栅的衍射图样中都是很细、很锐的亮线。 由dsinθ=kλ可知，级次间距对应 SKIPIF 1 0 ，当角度θ较小的时，角度间隔?θ最小，当角度θ增加时，角度间隔?θ增加。所以光谱排列并非按角度θ线性分布。当角度θ较小时可以简化为线性，即可采用线性定标，更进一步可以从级数展开的角度采用2次、3次、或4次定标。 S1：入射狭缝 M1：反射镜 M2：反射式准光镜 M3：物镜 M4：物镜 G：平面衍射光栅 P：观察窗口（或出射狭缝） 图 WGD-6型光学多通道分析器原理图 WGD-6型光学多通道分析器的原理如图3.4-1所示，由光栅单色仪、CCD接收单元、扫描系统、电子放大器、A/D采集单元和计算机组成。它集光学、精密机械、电子学、计算机技术于一体，可用于分析300nm~900nm范围内的光谱。如图3.4-1所示，光源发出的光束经狭缝S1照射到反射镜M1上，因狭缝S1位于凹面反射镜M2的焦平面上，由M1反射的光束经M2反射后将成为一束平行光。当平行光束入射到平面光栅G（光栅平面的方位可由精密机械调节）时，将发生衍射；衍射后的平行光束经凹面反射镜M3反射后将在观察窗口S3处形成光谱，由于各波长光的衍射角不同，在观察窗口S3处形成以某一波长为中心的一条光谱带，可在S3处直观地观察到光谱特征；转动光栅G可改变中心波长，整条谱带也随之移动。转开平面M4可使M3直接成像于光电探测器CCD接收位置S2上，它测量的谱段与观察窗口S3处观察到的完全一致。 光谱出现在S2处，还是出现在S3处取决于转换开关的状态：当转换开关位于“CCD档”时，反射镜M4收起，衍射光束由M2直接反射到CCD接收位置S2处，由CCD传感器采集光谱信息；当转换开关位于“观察档”时，反射镜M4放下，衍射光束经M2、M4依次反射后照射到观察窗口S3处，可用肉眼直接进行观察。当用CCD传感器采集光谱信息时，为防止外界杂光的干扰，应用盖子将观察窗S3遮住。 CCD传感器是WGD-6型光学多通道分析器数据采集部分的核心，也是整个系统的关键所在，它的作用是将衍射光谱转换成电信号。 利用CCD可以同时采集一定波长范围内光谱中各个波长点的数据，若同时将其输出的电脉冲信号经数-模（A／D）变换后串行输入计算机，可由计算机对光谱信息进行采集、分析和处理，并在计算机的显示屏上近乎实