07 第8 9章 压电式传感器 磁敏式传感器 (2).ppt

现代检测技术 压电式传感器磁敏传感器; 压电式传感器是一种可逆型换能器，既可以将机械能转变为电能，又能将电能转变成机械能。其工作原理是利用某些物质的压电效应。;某些材料（如石英）当沿着一定方向施加力变形，由于材料分子不具备中心对称性，其内部产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷，当外力去掉后，重新恢复到不带电状态，此现象称为正压电效应。压电效应是可逆的。;纵轴 z-z称作光轴，通过六棱柱棱线而垂直于光轴的轴线x-x称作电轴，垂直于??面的轴线 y-y称作机械轴。;纵向压电效应：沿电轴(x轴)施加作用力，电荷出现在与x轴相垂直的表面上。 横向压电效应：沿机械轴(y 轴)施加作用力，电荷仍出现在与x 轴相垂直的表面上，但极性相反。; 压电常数——表示产生电荷与作用力之间的关系； 弹性模量——表示压电元件的刚度，刚度越大，固有振动频率越高； 电阻率——电阻率越大，压电元件内阻越大，将减少电荷泄漏； 居里点——温度超过居里点时，压电材料的压电性能被破坏。居里点高，压电元件的工作温度范围大。;1. 压电晶体——性能优良，压电常数较小，常做标准高精度传感器。;2. 压电陶瓷——如钛酸钡、锆钛酸铅、铌镁酸铅等，由多种材料经烧结合成，制作方便，成本低。压电常数一般比石英高数百倍。现代压电元件大多采用压电陶瓷。缺点是机械强度和居里点较低，高温时容易老化，在一般工业广泛应用。;压电传感器相当于电荷发生器，或平板电容器，其电容量为：; 压电材料有很大内阻R，等效为电压源和电流源的电路分别为：;压电传感器本身产生的电荷量很小，且传感器本身的内阻很大，因此输出信号很微弱，给后续测量电路提出很高的要求。;并联时，输出电荷量大、电容大、时间常数大； 适宜测量缓变信号和以电荷输出的场合。; 电荷放大器的性能稳定，其输出不受电缆分布电容的影响。; 电荷放大器是一个高增益带电容负反馈的运算放大器，其输入阻抗极高。可将传感器的漏电阻Ra和电荷放大器的输入电阻Ri视为开路。; 表明: 在一定条件下，电荷放大器的输出电压与外力成正比，与反馈电容成反比，而与Ca、Cc和Ci无关。; 能量转换型传感器。 体积小，重量轻，刚性好，可以提高其固有频率，得到较宽的工作频率范围。 灵敏度高，稳定性好，可靠。对应于纵向压电效应的传感器，电荷量与晶体的变形无关，因而灵敏度与传感器刚度无关。 有比较理想的线性，且通常没有滞后现象。 低频特性较差，主要用于动态测量。;动态力、机械冲击、振动、压力、形变、加速度、位移传感器等。; 如左图所示：当被测物体与传感器一起受到冲击振动时，压电元件受质量块惯性力作用，根据牛顿第二定律，此惯性力是加速度的函数，即：F=m×a;压电式传感器的应用;霍尔传感器;种类：变磁通式，也称磁阻式，由被测物体运动改变磁阻，线圈与磁铁之间没有相对运动； 恒磁通式，线圈与磁铁之间存在相对运动，分为动圈式和动铁式。;例1：闭磁路变磁通式 由被测物体运动引起磁通量变化，在线圈中产生感应电势。;例2：动铁恒磁通式，包括动圈式和动铁式，线圈和磁铁间存在相对运动。;例3：电磁流量计——在导电的、非磁性液体外部建立激励磁场，将产生与磁场和流动方向垂直的电动势。; 置于磁场中的载流导体，当它的电流方向与磁场方向不一致时，载流导体上平行电流和磁场方向上的两个面之间产生电动势，这种现象称为霍尔效应。;霍尔式传感器基本原理 ;由 得知，d 越小， 越大，则感生电动 势越大，故一般霍尔元件是由霍尔系数很大的N型半 导体材料制作的薄片，厚度微米级。;霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成。;霍尔元件的转换效率较低，实际应用中，可将几个霍尔元件的输出串联或采用运算放大器放大，以获得较大的UH。;线性型霍尔集成传感器将霍尔元件、恒流源和线性放大器等集成在一块芯片上，输出电压较高（伏级），使用方便。;开关型霍尔集成传感器将霍尔元件、稳压器、差分放大器、施密特触发器、OC门（集电极开路输出门）等电路做在一块芯片上。当外加磁场强度达到或超过工作点时，OC门由高阻态变为导通状态，输出为低电平；当外加磁场强度低于释放点时，OC门重新变为高阻态，输出变为高电平。;应用：磁场强度传感器（高斯计）；电流、电压传感器；位移、压力、加速度传感器等。; 霍尔器件在x方向上长度为b，x0 是位于气隙下的初始长度。此传感器常采用差动结构。 ;Δx;霍尔式传感器的应用; 当一载流半导体置于磁场中，其电阻值会随磁场而变化的这种现象称为磁阻效应。在磁场作用下，半导体片内电流分布是不均匀的，改变磁场的强弱就影响