液晶材料与技术之LCD工艺技术.pptxVIP

液晶材料与技术（9） ——LCD工艺技术;;Array制程中的几个主要技术;;;洗净原理及方法 ;1.湿式化学清洗 所谓湿式化学清洗技术，是以液态酸、碱溶剂与去离子水.之混合液清洗基板表面，并干燥的程序。 化学清洗不仅可以有效去除有机物，也可以通过化学反应有效去除金属等无机污染物。 但是湿式化学清洗法有时不但不能去除微粒，反而会增加微粒在基板表面附着的可能性。仅仅采用湿式化学清洗还不能完全解决问题。;;;;3.高压液体喷淋 是利用高压泵把清洗用水加压到10～30公斤的高压力，再通过喷嘴把高压低流速的水转化成低压高流速的清洗水喷射到玻璃基板的表面进行清洗的，为了扩大清洗面常使用能形成扁平扇形状清洗面的喷嘴。 用这种方法可去除玻璃基板上的3～5μm的粒子。 用这种方法可对在流水线上运行的玻璃基板进行连续化的在线清洗。 对于较小微粒而言，去除效率并不高。 一般液体压力达 到100 psig (1 psig的单位是1磅/平方英寸=6894.757 N· m-2)才可以有效去除微粒，但如此的高压会对基板表面图形产生伤害。;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-LCD设计及制作;TFT-