MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究.docx

MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究 摘要：随着全球跨入万物互联时代，传感器产业迎来爆发式增长。MEMS传感器因其体积小、灵敏度高、可靠性强的优势逐渐占据主流。当前，我国在MEMS传感器设计、制造、封装、测试等关键产业链环节均取得了长足的进步，但与国际先进水平相比,仍存在诸多差距与短板。根据当前产业发展现状，建议我国在关键技术攻关、产业协同发展以及加大政策支持等方面发力，进一步带动我国MEMS传感器产业全面提升。 0　引言 微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是利用微机械加工技术制造的新型传感器，相比于传统传感器元件，MEMS传感器凭