現場管理工序能力及工序能力指數.pptxVIP

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— —工序能力及工序能力指数的计算— —1. 基本要点2. 工序能力的定量表征1. 基本要点 (1) 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。 1. 基本要点 (1) 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。 (2) 工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法,其实质作用是反映工艺成品率的高低。 1. 基本要点 (1) 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。 (2) 工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法,其实质作用是反映工艺成品率的高低。 (3) “6σ设计”是在工序能力指数分析基础上对生产工艺水平的新要求,其实质作用也是反映工艺成品率的高低。1. 基本要点预备知识-关于测试数据的“ 分布”1. 基本要点预备知识-关于测试数据的“ 分布”关于正态分布— —工序能力及工序能力指数的计算— —1. 基本要点2. 工序能力的定量表征2. 工序能力的定量表征(1) 工序能力(2) 潜在工序能力指数: Cp(3) 实际工序能力指数: Cpk(4) 单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU(5) Cp和Cpk的常规计算方法2. 工序能力的定量表征(1) 工序能力 2. 工序能力的定量表征(1) 工序能力 通常工艺参数服从正态分布 N(μ,σ2) 2. 工序能力的定量表征(1) 工序能力 通常工艺参数服从正态分布 N(μ,σ2) 正态分布标准偏差σ的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在μ±3σ范围内,其比例为99.73% 2. 工序能力的定量表征(1) 工序能力 通常工艺参数服从正态分布 N(μ,σ2) 正态分布标准偏差σ的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在μ±3σ范围内,其比例为99.73% 通常将6σ称为工序能力。6σ范围越小,表示该工序加工的工艺参数越集中,则生产出成品率高、可靠性好的产品的能力越强,即固有能力越强。 2. 工序能力的定量表征(2)潜在工序能力指数CP 2. 工序能力的定量表征(2)潜在工序能力指数CP 为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数:CP=(TU-TL)/ 6σ=T/ 6σ 2. 工序能力的定量表征(2)潜在工序能力指数CP 为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数:CP=(TU-TL)/ 6σ=T/ 6σ 通过积分可得工艺成品率为: 2. 工序能力的定量表征(2)潜在工序能力指数CP 为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数:CP=(TU-TL)/ 6σ=T/ 6σ 通过积分可得工艺成品率为: 可得工序能力指数与成品率之间的关系: 规范范围 CP 工艺成品率 不合格品率 ±3σ 1 99.73% 2700PPM ±6σ 2 99.9999998% 0.002PPM 2. 工序能力的定量表征(2)潜在工序能力指数CP 为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数:CP=(TU-TL)/ 6σ=T/ 6σ 通过积分可得工艺成品率为: 可得工序能力指数与成品率之间的关系: 规范范围 CP 工艺成品率 不合格品率 ±3σ 1 99.73% 2700PPM ±6σ 2 99.9999998% 0.002PPM 结论:工序能力指数越高,成品率也越高。2. 工序能力的定量表征(3) 实际工序能力指数: CPK 2. 工序能力的定量表征(3) 实际工序能力指数: CPK 在元器件生产中,采用闭环工艺控制的情况并不多,大多为“ 间接”工艺控制,很难使两者重合。例如,IC中的扩散工艺,并不能在扩散过程中随时监测方块电阻Rs的变化情况,因此不能做到在Rs达到规范中心值时结束扩散。实际上都是先做试片,根据试片测试结果调整工艺条件。实践表明, 对于这种“ 间接 ”控制的工艺,工艺参数分 布中心值μ与规范 中心值偏移的程度一般为1.5?。实际工艺能力指数CPK计算公式:实际工艺能力指数CPK计算公式: 偏离为1.5?情况下Cpk与Cp的关系:若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为1.5σ,即:(μ-(TU+TL)/2)=1.5σ, 由上式可得:Cpk=Cp-0.5 实际工艺能力指数CPK计算公式: 偏离为1.5?情况下Cpk与Cp的关系:若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为1.5σ,即:(μ-(TU+TL)/2)=1.5σ, 由上式可得:Cpk=Cp-0.5 即工艺参数分布的中心值μ与规

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