ESDEOS基本要求及原理概念.docx

ESD / EOS概念 ?c提要 . ESD简述 静电学和ESD基本原理 失效模式和机理 控制和避免ESD 静电荷测量/ESD工具 ESD防控产品 ESD防护的基本要求 EOS基本原理，如何避免 问答题 ESD简述 V ESD简述 ■一 .— . ? ?随着半导体工艺技术的进步，制造出的芯片几何尺 寸和线宽越来越小，而脚位却越来越多，这使得IC 更加容易受ESD问题的影响. ?发展到如今的低电导封装技术却没有相应的提高 芯片的本征电阻以应对键合产生的高频ESD脉冲. ?没有考虑材料类型的自动化系统的应用最终导致 器件的失效. V V ESD简述 PAGE PAGE # V V ESD简述 PAGE PAGE # 产品失效（较低可靠性） 高退货率（高成本） ESD在电子工业化的今天已经变成一个非常严 重的问题，它可以引起： 客户抱怨 利润降低 实际上，从元件的制造，使用到维修的任一环节都有可能发生 静电损害. L元件制造过程 包含制造，切割、接线、印刷电路板装配过程 包含收货、验收、储存、设备制造过程包含电路板验收、储存、4 ,设 包含制造，切割、接线、 印刷电路板装配过程 包含收货、验收、储存、 设备制造过程 包含电路板验收、储存、 4 ,设备使用过程 包含收货、安装、试验、 5.设备维修过程 检验到交货. 插入、焊接、 装配、品管、 till V 使用及保养。 品管、包装到出货. 出货。 ?在这整个过程中，每一个阶段中的每一个小步骤，都可能 使元件遭受静电的影响，而实际上，最主要而又容易疏忽 的一点却是在元件的传送与运输的过程.在这整个过程 中，不但包装因移动容易产生静电外，而且整个包装容易 暴露在外界电场（如经过高压设备附近，工人移动频繁、 车辆迅速移动等）而受到破坏，所以传送与运输过程需要 特别注意以减少损，避免无谓之纠纷? ?为了使ESD损害降到最低，有关组织制定了元件级、系统 级、工厂级ESD防护设计的要求、指导原则. ?各用户据此制定静电放电控制大纲及生产中静电防护技术 措施与管理要求- PAGE PAGE # PAGE PAGE # PAGE PAGE # 静电学和ESD基本原理 V ESD概念 . ? ESD代表 E-Electro、 S-Static D-Discharge, 电荷瞬间从一个物体转移到另一个物体上. V ESD概念 ESD事件是物体表面的静电荷转移,该表面处于不 同的静电电位. 电荷转移 电荷转移 -5KV-2KV-5KV -5KV -2KV -5KV 一些ESD实例： 闪电 在干燥天气时，你触摸另一个人产生的电击感 觉。 在铺有地毯的地板上行走后，手接触金属门把 手产生的电击。 .c材料的分类: 等级 特性 导体 一种容易将静电导入地 下的材料 一种慢慢将静电导入地 静电耗散材料下的材料 防静电材料 一种实际上不产生静电 的材料 绝缘体 一种不能将静电导入地 表面电阻率106Q/ 表面电阻率 106Q/每平方单位 1。6 ~ 109 Q/每平方单位 1。9~ 1014Q/每平方单位 1014Q/每平方单位 PAGE PAGE # PAGE PAGE # V电荷的概念 ?所有的材料都包含原子.原子是材料组成的最小单 位，原子包括电子、质子和中子.原子的电荷是通 过得失电子来实现的. 质子-附在核子上的 正电荷颗粒电子??在原子上的负电荷颗粒, 围绕核子旋转. 质子-附在核子上的 正电荷颗粒 电子??在原子上的负电荷颗粒, 围绕核子旋转. 核子-位于原子中心的 中性部分，不带电荷. e电荷的概念 :质子数目=电子数目匚〉电中性 ?质子数目〉电子数目匚$正电性 ?质子数目〈电子数目匚。负电性 Trlboelectric Charging at the Afomtc Level FLOURIHE. Balanced Atom: 9 Protons. 9 ElectronsFLOURINE Charged atom, excosw of Electrons.： 9 Protons 10 ElectronsoLITHIUMPositively Charged atom,feflclencyof Electrons:3 Protons. 2 Eiec!ron? FLOURIHE. Balanced Atom: 9 Protons. 9 Electrons FLOURINE Charged atom, excosw of Electrons.： 9 Protons 10 Electrons o LITHIUMPositively Charged atom,feflclencyof Electrons:3