微纳米加工技术之光刻技术简要介绍 .pdfVIP

微纳米加工技术之光刻（光学曝光）技术 March 9, 2021 Contents 1 前言 2 2 微纳米加工技术 2 3 光学曝光技术 2 3.1 光学曝光的方式和原理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 3.2 光学曝光的工艺过程 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 3.3 光刻胶的特性 . . . .