变焦显微镜的部件、与GPS矩阵模型的关系.pdfVIP

GB/T 33523.606—xxxx/ISO 25178-606:2015 附录 A （资料性） 变焦显微镜的部件 A.1 典型配置 图A.1 示出了变焦显微镜的典型配置。 说明 1 阵列探测器 2 光学部件 3 白光光源 4 照明分束器 5 物镜 6 样品 7 垂直扫描 8 具有最大位置的焦点信息曲线 9 光束（...） 10 分析器 11 偏光器 12 环形光源 13 光轴（.-.-.） 图A.1 — 基于焦点变化的典型测量装置的示意图 18 GB/T 33523.606—xxxx/ISO 25178-606:2015 A.2 工作原理 变焦技术[7]将光学系统的小焦深与垂直扫描相结合，以根据焦点变化提供形貌信息。 在下文中，针对图A.l 中典型变焦显微镜的示意图说明了工作原理。该系统的主要组成部分 是包含各种镜头的光学显微镜，这些镜头可配备不同的物镜来进行不同分辨率的测量。利用 分束镜将白光光源射出的光线射入系统的光路，并通过物镜将光线聚焦到样品之上。根据样 品的形貌，一旦通过物镜接触到样品，光线就会分散到几个方向。如果形貌呈现漫反射特性， 则光线会强烈地散射到所有方向。在镜面反射的情况下，光线主要反射到一个方向。从样品 射出并接触物镜的所有光线都收集在光学系统中并由位于分束镜后的光敏传感器聚集。由于 光学系统的景深较小，所以仅对物体的小片区域清晰地成像。为了利用全景深进行表面的完 全检测，光学系统沿光轴垂直移动，同时从表面连续捕获数据。物体的每个区域都清晰地聚 焦在扫描仪的一个垂直位置处。利用算法将获取的传感器数据转换为三维信息以及具有全景 深的真彩色图像。这是通过分析沿垂直轴的焦点变化来实现的。 除了扫描的高度数据外，显微镜还可以提供每个测量三维点的彩色信息。这会提供光学 彩色图像，从而简化了对独特局部表面特征的测量和识别。样品表面的光学彩色图像与其深 度信息之间的视觉相关性通常彼此相互关联，因此是有意义的三维测量的基本方面。 有关变焦技术的描述，见参考文献[10]。变焦技术有时也称为对焦寻形（见参考文献[11]）。 A.3 光源 与仅限于同轴照明的其他光学技术相比，变焦技术的最大局部斜率不受物镜数值孔径的 限制。变焦技术可以与各种各样不同的照明光源（例如环形光源）一起使用，从而允许测量 最高达90°的局部倾斜角。另外，可以使用偏光滤光器（偏光器和分析器）进行光的偏振， 以便去除镜面光分量。这对于测量含有陡峭和平坦表面元素的金属表面特别有用。 A.4 扫描器 可以通过多种方法实施垂直扫描，其中包括移动样本，移动整个光学系统以及移动光学 元件。 A.5 物镜 变焦所用的物镜应满足一些基本要求。它们应具有较长的工作距离，以便测量高而粗糙 的样品。数值孔径应尽可能大，因为它直接影响景深，而景深是变焦测量的基本参数。由于 测量是采用白光进行的，因此应该校正物镜的色差自由度。 A.6 算法 存在通常基于每个扫描位置处的图像清晰度的计算来分析焦点变化的多种方法。一般来 说，通过评估小片局部区域内表面图像的值来推导出这种焦点信息。当相邻点具有更大的图 像强度变化时，物点通常会更明显地聚焦。作为示例，这些值的标准偏差可以用作焦点信息 的简单度量。这在表A.1 中进行了说明，其中针对五个不同扫描位置处类似国际象棋的物体 计算了焦点信息。 焦点信息曲线由每个垂直扫描位置处的焦点信息组成。通过计算焦点信息曲线的最大值， 可以确定一个物点的高度信息。存在计算聚焦曲线最大值的多种方法。表2总结了其中的三 种方法及其速度和准确性。最快的方法是仅使用具有最大焦点信息的扫描位置，但这种方法 的准确性最低。更高级的方法利用焦点信息曲线来拟合多项式或更复杂的函数，并计算最大 值作为拟合多项式或函数的峰值。