一般原则、光斑尺寸与焦移、光束偏移方向与可接受的最大局部斜率、区域法表面结构测量仪器的特征.pdfVIP

GB/T 33523.605—xxxx/ISO 25178-605:2014 附录A （资料性） 一般原则 A.1 概述 点自动对焦轮廓分析仪器自动将激光束集中到试样表面上的一点，使用x-y扫描台以固 定的测量节距移动该试样表面并在每个焦点测量试样表面高度，从而测量表面结构。 A.2 典型点自动对焦探头的原理 图A.1示出了点自动对焦探头的典型光学系统。可以聚焦于小光斑的激光束通常用于光 源。激光束从物镜的左侧通过，聚焦在工件表面的光轴中心。反射的激光束从物镜的右侧通 过，并在通过成像透镜后于自动对焦传感器上形成图像。图A.1示出了合焦状态。 图A.2示出了自动对焦操作原理。1)示出了合焦状态。2)示出了散焦状态。当工件表面 向下位移时，自动对焦传感器上的激光束位置相应改变。自动对焦传感器检测激光斑的位置， 因此该传感器检测激光斑位移并将此信息反馈到自动对焦机构，以便将物镜调整到合焦位置。 工件表面位移（z1 ）等于物镜的移动距离（z2 ），并且垂直位置传感器（通常使用线性位置 标度）获得工件（3 ）的高度信息。点自