结构分辨力检测、代表已校准的检测长度的标准器、量规的找正.pdfVIP

GB/T 16857.8—XXXX/ISO 10360-8:2013 附 录 A （资料性） 结构分辨力检测 A.1 概述 结构分辨力 Rs 应与仪器的（计量）分辨力明确区分，例如，输出数据的最小增量。结构分辨力表征可 测量的最小结构尺寸。 结构分辨力的影响量： — A/D 转换器的量化； — 噪声； — 图像传感器的像素网格； — 使用的光学系统的调制传递函数或分辨力； — 滤波、均值； — 激光、光束直径或探测点的斑点尺寸； — 应用线投影原理时的最小结构尺寸； — 图像处理窗口的尺寸 （自动对焦传感器）。 大量的影响量表明，普通的计算公式 “像素网格=分辨力”并不成立。实际的结构分辨力非常低。因此， 指明和检测该特性非常重要。 A.2 检测方法 A.2.1 概述 考虑到需在相关位置进行额外移动以实现一维和二维传感器的三维功能，这些运动的速度可影响结构分