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智能传感器技术的研究进展及应用展望 智能传感器技术的研究进展及应用展望 科技导报2021，34（17） 智能传感器技术的研究进展及应用展望 清华大学精密仪器系，北京100084 随着智能时代的到来，各种智能传感器的研究和应用越来越受到人们的重视。智能传感器在传统传感器的基础上还具有 丰富的信息处理能力，能够提供更综合的功能。本文介绍了常用的温度、压力、惯性、生化和RFID 传感器的研究现状及其在物联网、虚拟现实（VR ）、机器人、医疗健康等产业升级和创新应用中的关键作用，并对智能传感器今后的发展趋势进行了展望。关键词智能传感器；微机电系统；物联网；产业化 智能传感器（smart sensor ）指具有展契机。 方面采用的也是磁性传感器，机器人的信息检测、信息处理、信息记忆、逻辑思本文综述不同种类智能传感器技智能化和精准度也需要磁性传感器做维和判断功能的传感器。相对于仅提术及应用的发展现状，并对今后的发展支撑。 供表征待测物理量的模拟电压信号的趋势做出展望。 模拟类传感器，主要应用在智慧医传统传感器，智能传感器充分利用集成疗设备上，可以作为心跳、心电图等信技术和微处理器技术，集感知、信息处1丰富多样的智能传感器 号的输入，并将健康数据进行可视化的理、通信于一体，能提供以数字量方式为满足各种智能化的应用需求，传 输出，让用户了解自身第一手健康、运传播的具有一定知识级别的信息。感器类别非常多样化，例如：环境传感动数据。 自美国宇航局（NASA ）在20世纪 80器、惯性传感器、模拟类传感器、磁性传红外传感器常应用于红外摄像头、感器、生物传感器、红外传感器、振动传扫地机器人等智能家居方面。 经过几十年的发展，年代提出智能传感器的概念以来，智能传感器已成为感器、压力传感器、超声波传感器等。传感器技术的一个主要发展方向，代表其中，以下传感器比较常用。 2智能传感器的技术研究进展 着一个国家的工业及技术科研能力。环境传感器，主要有气体传感器、一个真正意义的智能传感器应具 在当前智能时代的推动下，传感器的重气压传感器、温度传感器、湿度传感器有如下功能：1）自校准、自标定和自动要性更加凸显，不仅在《中国制造2025等。气体传感器可以应用于空气净化补偿功能；2）自动采集数据、逻辑判断器、酒驾监测器、家装中甲醛等有毒气和数据处理功能；3）自调整、自适应功盟、美国、》、《德国韩国、2021新加坡等推进的智慧城高技术战略》及欧体的检测器以及工业废气的检测装置能；4）一定程度的存储、识别和信息处市等战略方面发挥着重要的支撑作用，等。随着人们对环境问题的重视，环境理功能；5）双向通信、标准数字化输出而且也在物联网、虚拟现实（VR ）、机器传感器的重要性越来越凸显，未来有很或者符号输出功能；6）算法判断、决策人、智能家居、自动驾驶汽车等产业发大的发展空间。 处理的功能。下面以常用的温度、压展中发挥着关键作用。高性能、高可靠惯性传感器，主要应用在可穿戴产力、惯性、生化和RFID 传感器为例，介性的多功能复杂自动、测控系统以及基品上，比如智能手环、智能手表、VR 头绍智能传感技术的研究进展。于射频识别技术的物联网的兴起与发盔等。通过惯性传感器来检测运动的2.1 智能温度传感器 展，愈发凸显了具有感知、认知能力的跟踪、识别，告知佩戴者当天的运动量、温度传感器的发展大致经历了以智能传感器的重要性及其大力、快速发消耗的卡路里及运动的效果。 下3个阶段：传统分立式温度传感器、展的迫切性。随着与CMOS 兼容的MEMS 磁性传感器，主要用在家用电器模拟集成温度传感器和智能温度传感上，比如咖啡机、热水器、空调等，用来器。进入21世纪后，智能温度传感器发展得到了有力的技术支撑，技术的发展，微型智能传感器的智能传感检测角度转了多少或者行程多少，通常正朝着高精度、多功能、总线标准化、高器产业面临着一个非常重要的历史发 显示在仪表盘上。此外，门磁和窗磁等 可靠性及安全性、开发虚拟传感器和网 收稿日期：2021-08-15；修回日期：2021-09-05 作者简介：尤政，教授，中国工程院院士，研究方向为微纳技术及其空间应用，电子信箱:yz-dpi@mail.tsinghua.edu.cn 引用格式:尤政. 智能传感器技术的研究进展及应用展望[J].科技导报, 2021, 34(17):72-78; doi:10.3981/j.issn.1000-7857.2021.17.010 科技导报2021，34（17） 络传感器、研制单片测温系统等方向迅速发展。目前