材料显微分析选修课的原子力显微镜.pptVIP

材料显微分析选修课的原子力显微镜 * 原子力显微镜 * 1982年，与于瑞士IBM实验室发明了扫描隧道显微镜(STM)。此二人因此荣获1986年之诺贝尔奖。 1986年，等三人利用当时的STM技术，与Stanford University合作者开发出能探测探针与式样间范德华力的原子力显微镜(AFM)。 原子力显微镜的工作原理 * 原子力显微镜的工作原理 基本原理：原子力显微镜是利用检测样品表面与细微的探针尖端之间的相互作用力（原子力）测出表面的形貌。 * 原子力显微镜的工作原理 式中，d —— 能量单位常数； s —— 原子直径； r —— 原子间距离。 原子力与距离关系 * 原子力显微镜的基本结构与工作模式 * 基本结构：微探针、探针位移探测器、扫描平台和控制系统。 原子力显微镜的基本结构与工作模式 * 微探针：由弹性悬臂梁和尖的探针组成，作用是感应样品表面与探针的原子力。 原子力显微镜的基本结构与工作模式 AFM探针示意图 式中，F —— 原子力； k —— 悬臂梁弹性系数； Z —— 原子力产生的悬臂挠度。 * AFM探针和悬臂的形貌 悬臂一般是由100-150um长和大约500nm-5um厚的硅片或氮化硅片制成，在悬臂顶端有针尖，来扫描样品表面，悬臂和针尖有一