压电陶瓷振动的干涉测量实验报告.pdf

一、实验目 压 电 陶 瓷 振 动 的 干 涉 测 量 实验报告 的与实验仪 器 1. 实验目的 （1）了解压电陶瓷的性能参数； ? （2 ）了解电容测微仪的工作原理，掌握电容测微仪的标定方法； ? （3）、掌握压电陶瓷微位移测量方法。 2. 实验仪器 压电陶瓷材料（一端装有激光反射镜，可在迈克尔逊干涉仪中充当反射 镜）、光学防震平台、半导体激光器、双踪示波器、分束镜、反射镜、二维 可调扩束镜、白屏、驱动电源、光电探头、信号线等。 二、实验原理 1. 压电效应 压电陶瓷是一种多晶体，它的压电性可由晶体的压电性来解释。晶体在 机械力作用下，总的电偶极矩（极化）发生变化，从而呈现压电现象，因此 压电陶瓷的压电性与极化、形变等有密切关系。 1) 正压电效应：压电晶体在外力作用下发生形变时，正、负电荷中心发生 相对位移，在某些相对应的面上产生异号电荷，出现极化强度。对于各向异 性晶体，对晶体施加应力时，晶体将在 X ，Y，Z 三个方向出现与应力成正 比的极化强度， 即： E = g ·T （g 为压电应力常数） ， 2) 逆压电效应：当给压电晶体施加一电场 E 时，不仅产生了极化，同时还 产生形变 ，这种由电场产生形变的现象称为逆压电效应，又称电致伸缩效 应。这是由于晶体受电场作用时，在晶体内部产生了应力（压电应力） ，通 过应力作用产生压电应变。存在如下关系： S = d ·U （d 为压电应变常数） 对于正和逆压电效应来讲， g 和 d 在数值上是相同的。 2. 迈克耳逊干涉仪的应用 迈克耳逊干涉仪可以测量微小长度。上图是迈克耳逊干涉仪的原理图。 分光镜的第二表面上涂有半透射膜，能将入射光分成两束，一束透射，一束 1 2 反射。分光镜与光束中心线成 45 °倾斜角。 M 和 M 为互相垂直并与分束 镜都成 45 °角的平面反射镜，其中反射镜 M1 后附有压电陶瓷材料。 由激光器发出的光经分光镜后，光束被分成两路，反射光射向反射镜 M1 （附压电陶瓷），透射光射向测量镜 M2 （固定），两路光分别经 M1、M2 反射 后，分别经分光镜反射和透射后又会合， 经扩束镜到达白屏， 产生干涉条纹。 1 2 M 和 M 与分光镜中心的距离差决定两束光的光程差。 因而通过给压电陶瓷 加电压使 M1 随之振动，干涉条纹就发生变化。由于干涉条纹变化一级，相 当于测量镜 M1 移动了 λ/ 2，所以通过测出条纹的变化数就可计算出压电陶 瓷的伸缩量。 三、实验步骤 1) 将驱动电源分别与光探头，压电陶瓷附件和示波器相连，其中压电陶瓷 附件接驱动电压插口，光电探头接光探头插口，驱动电压波形和光探头 波形插口分别接入示波器 CH1 和 CH2； 2) 在光学实验平台上搭制迈克尔逊干涉光路，使入射激光和分光镜成 45 度，反射镜 M1 和 M2 与光垂直， M1 和 M2 与分光镜距离基本相等； 3) 打开激光器，手持小孔屏观察各光路，适当调整各元件位置和角度，保 证经分光镜各透射和反射光路的激光点不射在分光镜边缘上。 4) 遮住 M1，用小孔屏观察扩束镜前有一光点，再遮住 M2 分辨另一光点， 分别调整 M1 和