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中纬积体电路 (宁波 )新建工程
气体管线二次配工程规范
CONTENTS PAGES
1. 目的 3
2. 范围 3
3. 文件送审 4
4. 施工说明 5
5. 其他说明 12
6. 验收标准 13
7. 保固期限 16
1. 目的
为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护 Hook Up 二次配管施工之品
质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。
2. 范围
2.1. 制程设备气体管线 Hook-up 工程材料采购及管路安装； Hook-up 范围，
2 2 2 2 4
GN 、PN 、PO 、CDA 自主管预留阀至机台内部接点 (含支管 )，PH 、SiH 、
4 2 4 4 2
SiH /N 由气体站氢气纯化器出口及 SiH 、SiH /N 气瓶柜出口接至机台 (含
VMB) ，其他特殊气体自位於气体房或 Subfab 之气瓶柜 / 架至机台内部接点
(含 VMB/VMP) ，其中必要的管线、管件及焊接所需气体，均由承包商负责
提供。GN2、PN2、PO2 各支管位置及预留 take-off 阀尺寸及数量 ，请参照 ” FAB
栋一层大宗气体二次配平面图 ”(图号 SP-211) ；各 VMB/VMP 位置，请参
照 ” FAB栋一层特殊气体二次配平面图 ”(图号 SP-212) ；气体站至 FAB 间气
体管线，请参照 ”气体站至 FAB 栋气体二次配管线平面图 ”(图号 SP-234) ；
2 2 2
GN 、PN 、PO 、CDA 自 take-off 阀至机台间所需装设之阀件 ，请参照 ”SP-2
二次配管详图 ”( 图号 SP-231) ；而 take-off 阀及 VMB/VMP 与机台衔接点等
相关资料，请参照附件一 ” Bulkgas ta ke-off list 、附件二” ” Specialtygas
VMB/VMP list ”及附件三 ”CDA take-off list 。承包商需根据该表资料，设计”
至机台管线之路径。
2.2. 前项气体管线 Hook-up 工程之管路细部设计 、施工图绘制 、ISO 图绘制(Auto
2000 或以上版本图档予顾问及业主 )、安装後泄漏侦测、
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