LCD生产工艺流程-最新课件.pptVIP

LCD生产工艺流程;浮胶;原材料玻璃极板;工艺环境：净房洁净度100级，温度：23±2℃，湿度：55±5％RH，黄灯区。预烘温度：玻璃表面实际温度100 ±5℃，100 ~120秒。光积量为100~150mj/cm2 。工艺重点管控：光刻胶粘度，涂胶轮转数、压入量，光刻胶前烘温度及时间，洁净度等。光强强度及其分布，曝光机内温度，环境的温湿度及洁净度，CF玻璃的流向及曝光精度（±2u）等;工艺环境：净房洁净度1000级，温度：23±2℃，湿度：55±10％RH。工艺条件：显影剂溶液的浓度：0.70～0.73%的KOH, 温度：23±2℃，坚膜炉温度：玻璃表面实际温度130±5℃，100 ~120秒。 工艺重点管控：显影液浓度及温度、喷淋的流量，玻璃节拍，过滤芯规格及定期更换，光刻胶后烘温度及时间，气刀压力等。 ;工艺环境：净房洁净度1000级，温度：23±2℃，湿度：55±10％RH。工艺条件：酸刻液配比：纯水:HCl:HNO3＝10:20:1（体积比）；HCl浓度36～38％，HNO3浓度65～68％，酸刻液当量浓度：7.0～7.5N，脱膜液：5±1％KOH溶液；温度：40±1℃ 工艺重点管控：酸刻液/脱膜浓度及温度、喷淋的流量，玻璃节拍，过滤芯规格及定期更换，气刀压力等。 ;定向段;工艺环境：工艺环境：净房洁净度100级；温度23±2℃；湿度55±5%