无尘室洁净工程概要及管理.pdf

机电空调工程有限公司 洁净工程概要及管理 洁净工程概要及管理 目前无尘室工程主要用于微电子、平板显示器、 光电、光伏、精密机械、制药、生物安全实验 室、医院手术室等领域。 1 洁净工程的概要 1 洁净工程的概要 2 洁净工程的管理 2 洁净工程的管理 洁净工程概要 1.1 洁净室的基本概念 1.1 洁净室的基本概念 1.2 洁净室的内装 1.2 洁净室的内装 1.3 洁净室的空调系统 1.3 洁净室的空调系统 1.4 超纯水处理系统 1.4 超纯水处理系统 1.5 中央式化学品供应系统 1.5 中央式化学品供应系统 1.6 中央式气体供应系统 1.6 中央式气体供应系统 1.7 废水处理及回收系统 1.7 废水处理及回收系统 1.8 电力供应与中央监控系统 1.8 电力供应与中央监控系统 1.9 一般机电系统 1.9 一般机电系统 1.10 环境保护与消防安全 1.10 环境保护与消防安全 21:58:40 4 1.1 洁净室的基本概念 洁净室的基本概念 • 空气悬浮粒子浓度受控的房间。 它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留 的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压 力等按要求进行控制。 21:58:40 5 洁净室的应用 洁净室 工业用洁净室： 生物用洁净室： 集成电路产业 医院手术室等 平板显示器产业 制药工厂 光电产业 生物安全实验室 机密制造产业 涂装工厂 食品厂 印刷电路板等 化妆品工厂等 洁净室的标准发展 1 9 6 1 . 3 美国空军技术条令TO.00-25-203 1 9 6 1 . 3 1963.12 美国联邦标准FS209 1963.12 1 9 6 6 . 8 美国联邦标准FS209A 1 9 6 6 . 8 1 9 7 3 . 4 美国联邦标准FS209B 1 9 7 3 . 4 1 9 8 4 中国《洁净厂房设计规范》GBJ73-84 1 9 8 4 1987.10 美国联邦标准FS209B 1987.10 洁净室的标准发展