第九章扫描电子显微镜.pptx

材料现代研究方法第九章 扫描电子显微镜 第九章 扫描电子显微镜9.1电子与物质的相互作用9.2扫描电子显微镜结构和成像原理9.3场发射扫描电子显微镜9.4电子探针显微分析9.5其它电子成像技术结合EDS分析9.6EMPA-扫描电子显微镜分析方法和应用9.1 电子与物质的相互作用电子散射1背散射电子2二次电子3 9.1.1 电子散射当高速运动的电子与物质的原子碰撞以后，由于原子核的质量远大于电子的质量因而除了电子的动量发生改变以外，其能量几乎不变，即发生弹性散射。图9-1 电子与物质的相互作用 9.1.1 电子散射(1) 弹性散射 （9-1）(2) 非弹性散射(3) 多次散射图9-2 散射截面与原子序数的相互关系 9.1.2 背散射电子 入射电子经过试样表面散射后改变运动方向后又从试样表面反射回来的电子成为背散射点子，又称背反射电子。 背反射系数可用 表示，其中K, m 均为与原子序数有关的常数。 9.1.3 二次电子二次电子发射系数可用下式表示：(9-2)图9-3 二次电子散射几率示意图 9.1.3 二次电子图9-4 二次电子的逃逸 9.1.3 二次电子图9-5 散射电子的能量分布 9.1.3 二次电子图9-6 散射电子的产率 9.1.3 二次电子图9-7电子与物质的作用的体积9.2 扫描电子显微镜结构和成像原理扫描电子显微镜的工作原理1扫描电子显微镜的结构2扫描电子显微镜的性能3扫描电子显微镜的特点4样品制备5影响电子显微镜影像品质的因素6 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理(一) 电磁透镜的工作原理在电子显微镜本身结构方面，最主要的电磁透镜源自J.J. Thomson作阴极射线管实验时观察到电场及磁场可偏折电子束。图9-8 电子在磁透镜中的运动轨迹 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理圆的半径: (9-3)焦距f可用下式来表示： (9-4) 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理球面像差（球差）：电子透镜中，由于透镜中离轴远的地方聚焦能力要比离轴近的地方强，其成像点较沿轴电子束成像之高斯成像平面距透镜为近图9-9 透镜的球差 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理色差：电子的运动速度不同，其波长也不同，因而在电磁透镜的成像位置也不同，即形成色差。图9-10 透镜的色差 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理像散：由透镜磁场不对称而来，使电子束在二互相垂直平面之聚焦落在不同点上。图9-11 透镜的像散 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理（二）二次电子像由于二次电子的发射区只略微比电子束直径稍大一些，但比背散射电子发射区要小很多，因此，二次电子成像的分辨率比较高。（三）背散射电子像背散射电子为弹性散射，其能量在入射前和散射后保持一致，因此，较深层的背散射电子由于能量不变也可以逸出样品的表面，所以背电子散射的监测深度比二次电子大。 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理（四）吸收电子像由于入射电子可以被样品表面吸收使之带上负电荷，因此可以测定样品的接地电流从而得到吸收电子像。（五）透射电子像对于薄膜样品，入射电子可以透过样品，通过测定透过电子的数量，就可得到透射电子像。 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理（六）电子通道花样对于单晶体，晶体的趋向直接影响着背散射电子和二次电子的强度。图9-12 钒单晶的（111）通道花样（背散射电子） 9.2.2 扫描电子显微镜的结构扫描电子显微镜主要由电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、电源和真空系统组成．图9-13 扫描电子显微镜结构图 图9-14 扫描电子显微镜实物图 9.2.2 扫描电子显微镜的结构（1）电子光学系统（2）真空系统（3）电源系统（4）扫描系统（5）信号探测系统（6）显示系统 （7）吸收电子检测（8）X射线检测 9.2.2 扫描电子显微镜的结构图9-15 扫描电镜电子信号收集器 9.2.3 扫描电子显微镜的性能（1）分辨率：分辨率就是指清晰地分开两个物体之间的距离。（2）景深：景深是指图像清晰度保持不变的情况下样品平面沿光轴方向前后可移动的距离。（3）放大倍数：扫描电镜的放大倍数M定义为：电子束在荧光屏上最大扫描距离和在镜筒中电子束在试样上最大扫描距离的比值： M=l/L (9-5) 9.2.3 扫描电子显微镜的性能图9-16 透镜的景深 9.2.3 扫描电子显微镜的性能图9-17一种海底辐射虫（RadiolarianTrochodiscus longispinus）在光学显微镜（左）和扫描电子显微镜（右）下的观察照片 9.2.4 扫描电子显微镜的特点（1）扫描电镜除了能显示一般试样表面的形貌外，还能将试样微区范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图像形式显示出来，并可用