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Varian 离子注入机 EHP220 设备规格 1. 概要 + 本 E220 中束流离子注入机使用离子源，通过磁分析器、平行束透镜、加速系统等系统来完成注入。 B + + 束流达 0.9mA，P 束流达 1.6mA，As 束流达 1.2mA。 2. 系统组成 E220 中束流离子注入机主要由以下几个主要系统组成： 2-1 ）、束线系统； 2-2 ）、靶室系统； 2-3 ）、电源系统； 2-4 ）、辅助系统； 2-5 ）、控制系统； 3. 性能指标 3-1 ）、离子能量： 10-200keV （+ ） 3-2 ）、束流 最小束流： 10μA，且能稳定 最大束流： 能量 到靶束流（ uA） KeV P+ As+ B+ 200 1600 1200 900 100 1600 1100 900 40 1300 900 800 15 450 300 560 10 100 120 150 3-3 ）、工作效率 机械传送效率≥ 160 片/ 小时 (10scans) 。 3-4 ）、注入均匀性及重复性 注入剂量均匀性： 1σ≤0.5% 注入剂量重复性： 1σ≤0.5% 3-5 ）、质量分析能力 M/△M≥85 （≥100KV） 3-6 ）、颗粒污染测试 颗粒污染控制 ＜0.1/cm 2@0.2μm。 3-7 ）、圆片注入倾斜角度 圆片注入倾斜角度： 0～60° 3-8 ）、靶注片方式 靶注片方式：单圆片注入 圆片直径： 200mm 3-9 ）、系统真空度 静态离子源真空度： 3.00E-6 Torr 静态束线真空度： 4.00E-6 Torr 静态靶室真空度： 5.00E-6 Torr 3-10 ）、辐射剂量 辐射剂量：≤ 2usv ／ h 4. 场务安装 4-1 ）、安装条件 电源： 45KVA ， 208V ，3 相， 5 线， 50/60Hz 冷却水：入口 2.8Kg/cm2(mix) -10.5 Kg/cm2(max), 0.63L/S 21℃(max) 干氮： 1.4Kg/cm2(mix) -10.5 Kg/cm2(max) 0.47L/S(normal) - 4.7L/S(max) 压缩空气： 7Kg/cm2(mix) -10.5 Kg/cm2(max) 2.35L/S （mix ） 通风： 70.5L/S 、压力 -500Pa （气箱排气） 2.58L/S （终端排气） 2.58L/S （靶室排气） 散热： 10 kwh （空气） 32.5 kwh （水） 尺寸： 498cm×310cm×244cm 重量： 11000Kg 4-2 ）、废气排放 设备废气排放图详见附件图 1 4-3 ）、重心分布 设备重心分布图详见附件图 2 5. 附属品 5-1 ）、工具 维护保养设备所需工具： 1 套/ 台 5-2 ）、离子源 离子源： 1 套/ 台 6. 性能指标验收 整机指标测试 序号 技术指标 测量条件与方法 测量仪器 测量结果