pecvd班组的维护流程.docx

班 组 的 维 护 流 程 1） 维护准备 1】 提前准备维护工具 石英管的准备 8 — 15 根 （单晶需 15 根， 2 根备用 多晶需 9 根， 1 根备用） 2 】 3 】 石英管 两端口径不要有裂痕 和气泡 一对轴套 的挑选注意：口径的大小 整根不能有裂痕 碰痕。 无细微裂纹 的卡孔注意能与扭力扳手吻 合，需要时要用电钻处理卡孔 铝杯罩 外部 面（绿“O”圈面）注意不能有大的划痕 项圈 4 】 5 】 “O ”圈 的选用一注意形状 不变形 不扭曲； 二“O ”圈用酒精清洗，观察“ O ”圈是否有裂痕 毛刺， 尤其绿“O”圈。 梅花圈 分薄和厚型，选用注意形状 厚度 大 小 其作用是支撑铜导管，调节安装石英管的长度。 6】 铜导管 注意两者的吻合，孔位的适 宜 7】 铜制天线