真空磁控镀膜设备构造讲义培训.pptx

;镀膜设备系统简述;真空磁控溅射镀膜设备系统的组成;真空系统;;; 旋式真空泵的工作原理 如下图为旋片泵的工作原理示意图，旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用装在定子腔内偏心转子（转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。;1-泵体；2-旋片；3-转子；4-弹簧；5-排气阀 图1 旋片泵工作原理图;两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间的压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。; 排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。; 双级旋片式真空泵由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室是低真空级，Ⅱ室是高真空级，被抽气体由进气口进入Ⅱ室，当进入的气体压力较高时，气体经Ⅱ室压缩，压强急速增大，被压缩的气体不仅从高级排气阀排出，而且经过中壁通道，进入Ⅰ室，在Ⅰ室被压缩，从低级排气阀排出；当进入Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室的压缩，也推不开高级排气阀排出，气体全部经中壁通道进入Ⅰ室，经Ⅰ室的继续压缩，由低级排气阀排出，因此双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。;罗茨泵的工作原理及其结构特点;罗茨泵具有??下特点：;1－前端端盖；2－油标；3－压力传感器；4－注油塞； 5－放油塞；6－齿轮侧轴承端盖；7－泵体；8－入口法兰 9－出口法兰；10－转子；11－马达侧轴承盖； 12－中间法兰；13－油封处注油塞；14－油封处放油塞； 15－笼形支架；16－电动机；17－泵底座;分子泵结构;连续抽除气体 节省能源 可获得清洁的真空 对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大 起停机时间短 振动小，噪音低 操作维护方便，免维护周期长 ;真空泵的主要参数;真空计;工作原理： 在热偶真空规中，在作为热丝的Pt丝中通过恒定强度的电流。在达到热平衡以后，电流提供的加热功率与通过空间热辐射、金属丝热传导以及气体分子热传导而损失的功率相等，因而热丝的温度将随着真空度的不同而呈现有规律的变化。 ;在0.1-100Pa的压力范围内，气体的热导率将随着气体压力的增加而上升，因而热丝的温度会随着气体压力的上升而降低。这时，用热电偶的方法测出热丝本身的温度，也就相应测出的环境的压力。 热偶真空规不能用于较低或较高真空度的测量。 在气体压力高于100Pa的情况下，气体的热导率将不再随气体压力而显著变化。这时，用热丝温度测量气体压力方法的灵敏程度将迅速下降。 当气体压力低于0.1Pa以后，由于气体分子传导走的热量的总加热功率中的比例过小，测量的灵敏度也将呈下降趋势。;皮拉尼规;电离真空规;电离真空规可检测的压力下限受阴极发射的高能光子在离子收集极上产生的光电效应所限制。这种效应产生的光电流相当于10-7Pa的真空度下的离子电流。 ;薄膜式真空规;在很大的量程范围内，薄膜真空规都具有很好的线性度，其探测下限约为10-3Pa，这相当于探测到的薄膜位移只有一个原子尺度大小。 ;传动系统;;加热系统;;冷却系统;;工艺布气系统;;;The end Thank You ;9、有时候读书是一种巧妙地避开思考的方法。3月-213月-21Monday, March 8, 2021 10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。01:51:3801:51:3801:513/8/2021 1:51:38 AM 11、越是没有本领的就越加自命不凡。3月-2101:51:3801:51Mar-2108-Mar-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。01:51:3801:51:3801:51Monday, March 8, 2021 13、知人者智，自知者明。胜人者有力，自胜者强。3月-213月-2101:51:3801:51:38March 8, 2021 14、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。08 三月 20211:51:38 上