丝杆定位精度.docVIP

The Standardization Office was revised on the afternoon of December 13, 2020 The Standardization Office was revised on the afternoon of December 13, 2020 丝杆定位精度 经常碰到一些应用，要求高精度定位控制，典型的要求就是5um，也有些客户要求1um。 首先我们来考虑丝杆送料的方式，丝杆的典型误差如下： 丝杆的精度决定了以丝杆作为主传动的机械的精度。目前国内基本上只能买到T3，P3级别的丝杆，意味着开环控制下定位300mm行程下所能达到的最高精度为12um。实际定位精度往往高于该数值。 进一步提高精度的办法：在平台上增加光栅尺，作为全闭环反馈，这样能将精度大大提高；以分辨率为0.1um的高精度光栅尺为例， 其反馈精度也达到了正负5um+30um/m，外加光栅尺或者采用直线电机，其300mm精度也就在12um左右。 在定位精度如此之低的情况下，更进一步的办法只有采用类似“螺杆补偿”的办法：采用激光干涉仪，将定位位置与目标位置的差距记录下来，列出一组数据来，据此在控制器中进行补偿。其定位精度将优于目前状态。