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电源：大型 UPS 在半导体制造厂的应用
标签 ：半导体 UPS 电源
一 .引言
半导体制造业是全球十大重点产业之一 ,是技术资金密集 ,技术进步和投资风
险高的产业 .中纬公司是浙江省至今唯一的 6 英夹酒制造项目 ,该项目于 2003 年
7 月投产以来 ,当前的产量已达 10000 片/ 月.半导体制造厂对电力网的稳定运行
有较高的要求 .晶园代工企业的精密设备不能忍受这种短暂的电压闪变、跌落、
瞬时供电中断 ,每次电压闪变都可能导致生产出废品，甚至使得某些机器出现重
新启动的现象。
公司装有 Powerware 9315 UPS 2*200KVA,3*625KVA 共计 5 台.共容量 :
2275KVA, 位于 PUB3F, 2*200KVA 主要为 FAC 系统的 UPW,PCW,PCT,PV 及
FAB 的部分照明提供可靠电力 , 3*6250KVA 主要为 FAB 的 TOOLS( 注入、扩散、
光刻 )等机台提供稳定的供电之用 .
二 . Powerware 9315 系列 UPS 工作方式与性能特点
1.UPS 本公司的工作示意图如下 :
a. 2*200KVA 并联单线图
b. 3*625KVA (2+1) 热同步并机单线图
2. Powerware 9315 系列 UPS 特点：
a、独特且可靠的并机技术
Powerware 9315 采用独特的热同步直接并机技术，在各 UPS 单机之间无需通
讯电缆连接来传递实时信号，就可实现并机的均流控制。对于并机系统中的各
台 UPS ，它们都处于完全平等的调控状态之中。采用独特的小步长，高频率同
步相位调制法。每台 UPS 能智能地将位于并机系统中的各台 UPS 的同步跟踪
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