半导体名词解释.docxVIP

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2021-08-17 发布于天津
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半导体名词解释.docx

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Acetone 丙酮丙酮是有机溶剂的一种，分子式为 CH 3 COCH 3 性质：无色，具剌激性薄荷臭味的液体用途：在 FAB 内的用途，主要在于黄光室内正光阻的清洗、擦拭毒性：对神经中枢具中度麻醉性，对皮肤粘膜具轻微毒性，长期接触会引起皮肤炎，吸入过量的丙酮蒸气会刺激鼻、眼结膜、咽喉粘膜、甚至引起头痛、恶心、呕吐、目眩、意识不明等。允许浓度： 1000ppm Active Area 主动区域 MOS 核心区域，即源，汲，闸极区域 AEI 蚀刻后检查 (1) AEI 即 After Etching Inspection ，在蚀刻制程光阻去除前和光阻去除后，分别对产品实施主检或抽样