stepper基础教育训练.pptxVIP

Stepper基础教育训练会计学1.PHOTO 流程曝光圖形STEPPER顯影機 光阻機SEM CDCD量測ADIAAAA量測2.曝光原理 - PHOTO = 照相照相機成像對準機曝光合歡山連峰照2.曝光原理 -為什麼是黃光PHOTO 黃光白光暗房 紅光光譜I-lineDUV3.機台簡介 DUV: 0.25um 以上可生產機台, 共 5 台 - EX14C: E11-2, E11-3, E11-4, E12-1 - EX12B: E8-7 I-line(5x) : 0.35um 以上可生產機台, 共 15 台 -I14: I11-1, I11-5, I7-7 -I12: F9-4, F9-5, F9-6對準機 -I11: I7-1 ~ I7-6, I8-1 ~ I8-6 I-line(2.5x) : 簡單層機台, 共 5 台 -4425i: O9-1 ~ O9-3, O-R1 ~ O-R3 光源波長 I-line: 365 nm 的 Hg Lamp DUV(KrF): 波長 246nm 的 Laser R= K*波長/NA 光阻機 顯影機SEM AA ADI 4.FAB 流程SIN, POLY, ILD, METAL L7W01SINP-WELLP-FIELDPOLYPLDDP+N+CONTMETAL