激光器械与维护文本素材激光标刻机谐振腔及光路传输系统装调.docVIP

项目库-课程项目案例 激光标刻机谐振腔及光路传输系统装调 一、激光谐振腔装配调试 激光标刻机装调的基本步骤： （1）从光路中移开声光开关组件，首先调整指示光路（指示光源）。 （2）调整谐振腔光路（全反膜片架，聚光腔，半反膜片架），激光输出调整。 （3）光路传输系统调整（扩束镜，振镜）。 （4）声光组件位置调整。 （5）整机测试 本部分以典型的灯泵连续激光器为例介绍谐振腔的装配与调试。 1.谐振腔装配 （1）晶体的安装 = 1 \* GB3 ①如图所示，用螺丝刀分别拆下两端头上的棒压盖，取出两端头的橡胶堵头。 = 2 \* GB3 ②取出置放于晶体盒中的晶体，目测检查其外观有无破损。 图2.12 Nd:YAG晶体安装示意图1.晶体 2.密封圈 图2.12 Nd:YAG晶体安装示意图 1.晶体 2.密封圈 3.棒压盖 4.螺钉 = 4 \* GB3 ④两端依次套上密封圈、棒压盖。 = 5 \* GB3 ⑤用螺丝刀将螺丝旋入，使压盖将密封圈均匀压紧。 安装晶体的注意事项： 图1 氪灯的结构示意图 = 1 \* GB3 ①晶体外形为圆柱形结构，棒的两个端面严格平行，与棒轴垂直，经过抛光并且镀增透膜；使用过程中要保持棒端面光洁。 图1 氪灯的结构示意图 = 2 \* GB3 ②激光器工作时，棒需用水冷却至—定温度，以保持激光输出的稳定性。 （2）氪灯的安装 = 1 \* GB3 ①氪灯的结构及主要参数 氪灯的结构如图所示。连续激光氪灯的主要参数有：最大输入功率，工作电流，工作电压，氪灯极间距，灯的直径和长度等，如表所示。 表1 连续激光氪灯的主要参数 内径 () 弧长 () 总长 () 外径 () 充气 电 极() 电参数 备注 4 100 276 6 滤紫外 4 100 240 6 滤紫外 5 100 240 7 滤紫外 5 100 219 7 软线 5 102 195 6 进口 5 102 195 6 进口 5 100 235 7 国产 6 102 200 7 6 150 250 8 进口 = 2 \* GB3 ②氪灯的安装 图2 图2 泵浦氪灯的安装示意图 1端头 2上腔体 3滤紫外管 4螺钉 5灯压盖 6棒压盖 a.如图2.13，分别将腔体两端头的灯压盖拆下，取出两端头内密封圈、压盖。 b.将氪灯轻轻水平插入聚光腔内（保证两端露出部分基本等长）。 c.两端依次套上密封圈、压盖。 d.用螺丝刀将螺丝旋入，使压盖将密封圈均匀压紧。 安装氪灯的注意事项： 1）氪灯有正负极性，圆头为正，接红线，尖头为负，接黑线。氪灯正负极性务必与激光电源输出正负极一致，错误的接法将导致氪灯严重损坏，并有可能引发激光棒和聚光腔的损害。 2）氪灯在工作时，需用水冷却。 （3）聚光腔的安装 = 1 \* GB3 ①聚光腔的结构 常用聚光腔腔体有金属腔和陶瓷腔两种，金属腔由钢材加工而成，内表面为高反射率镀金面。陶瓷腔对氪灯是漫反射，对激光工作物质的辐照光场更均匀，吸收效率可以达到90％以上，可形成全截面的均匀泵浦，实现高功率泵浦输入。在可靠性和使用寿命方面，陶瓷材料抗剥落、抗氧化、易于清洁，在目前循环水冷系统不太过关的情况下，比金属镀金腔有更好的免维护性。但陶瓷腔对于陶瓷材质和腔型的设计要求比较高，激光模式没有镀金腔好，因为泵浦效率高，达到同样的输出功率，腔长短很多，导致发散角大，价格也贵2-3倍。从应用看，使用陶瓷腔的激光器做表面处理加工工艺时，效果要比金属镀金腔好，金属镀金腔的激光器应用于去除性加工工艺时，效果则比陶瓷腔好。 常见金属聚光腔的结构如图所示 。 图 图3 聚光腔的结构示意图 1上腔体 2下腔体 3底板4密封圈 5水嘴压块 6水嘴 = 2 \* GB3 ②聚光腔的安装 a.上腔体安装 将上腔体与下腔体合上，均衡上紧四个紧固螺钉，如图所示。 b.底板安装 翻转腔体使其底面朝上，将底板与腔体合上，均衡上紧四个紧固螺钉，如图所示。 c.水嘴安装 将密封圈套上水嘴，水嘴插入底板安装孔，套上水嘴压块，均衡上紧六个（每个水嘴三个）紧固螺钉，如图所示。 图 图4 聚光腔安装示意图 2.谐振腔光路调整 激光加工机的指示红光是整个设备光路的基准，谐振腔光路的调整应在红光光路调整好之后进行。光路调整的总体思路是，以红光为基准，红光通过所有光路器件中心，并且所有光路器件的反射光返回红光出光孔中心；调光由远及近；激光最终调整到与红光同轴。具体装调步骤如下： （1）开启红光指示光源（光路已调好）。 （2）输出镜调整。 调整输出镜前，应将装有棒的聚光腔拿开，以免因光路中棒的折射偏差影响调整的准确性。 输出介质膜片的准确位置应该是使红光位于其中心位置并能将红光完全反射回红光的出射孔，否则应通过膜片架的旋钮进行仔细调整。注意调整完后应将膜片架调