各表面处理工艺涂层厚度.docxVIP

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2021-08-24 发布于湖北
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各表面处理工艺涂层厚度.docx

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使用各种工艺提高工具和精密元件的表面质量，并改进它们的特性和性能。如果将通常所用的涂层工艺的属性与我们的表面处理工艺的属性相比较，则欧瑞康巴尔查斯所用的PVD和PACVD工艺会显示出明显的 \o 优势。? 表面处理方法的涂层厚度和沉积温度1 等离子喷涂2 电解和化学沉积3 磷酸盐化4 氮化（白色涂层）5 硼化6 CVD7 PVD，PACVD 8 P3eTM PVD=物理气相沉积PACVD＝等离子增强化学气相沉积P3eTM?= 强脉冲电弧蒸发执行这些工艺时，将工具或元件置于处理腔中，然后抽空该腔的空气以形成真空。只有在真空条件下，具有定义的成分和特定属性的几微米厚涂层才能反复沉积。