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材料科学与工程学院基地班创新和任选实验 论文
高度取向锆钛酸铅铁电薄膜材料
制备及性能优化
姓名： 严岑琪
学号： 200900150260
指导教师： 欧阳俊
日期：2013.1.5
1
目录
一、研究背景简介及研究意义 3
1.1 PZT 薄膜研究背景 3
1.2 PZT 铁电材料结构 3
1.3 PZT 薄膜发展现状及趋势 4
1.4 PZT 薄膜研究意义 4
二、研究方法 5
2.1 脉冲激光沉积法 5
2.2 真空蒸发法 5
2.3 溶胶—凝胶法 5
2.4 化学气相沉积法 6
2.5 磁控溅射法 6
三、试验用原材料及仪器设备 7
3.1 试验用原材料 7
3.2 试验用仪器设备 7
四、实验步骤 8
4.1 主要研究方法 8
4.1.1 制备工艺流程 8
4.1.2 性能检测 8
4.2 PZT 铁电薄膜的制备参数 8
4.3 PZT 铁电薄膜的制备过程 8
五、实验结果记录与相关讨论 9
5.1 XRD 9
5.2 电滞回线 11
5.3 漏电电流特性 14
5.4 介电行为 15
六、结论 16
七、参考文献 16
2
一、研究背景简介及研究意义
1.1 PZT 薄膜研究背景
铁电体是具有自发极化且自发极化矢量的取向能随外电场的改变而改变方向的材料。
2 6
铁电材料是一类强介电材料， 其介电常数可高达 10 ～ 10 。铁电材料具有优良的铁电、 压电、
热释电、电光、声光及非线性光学特性，集力、热、光、电等性能于一体，具有其它材料不
可比拟的优越性能。 铁电材料的这些特殊性质使得它在超声换能器件、 微机电耦合器件、 高
容量电容器、铁电存储器、电光快门、光控器件、成像与显示器件等多方面都具有广泛的应
用前景。
另一方面，由于电子技术，信息技术和控制技术的发展，要求器件小型化和集成化，
对新材料提出了
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