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SECS标准详尽介绍 SECS标准详尽介绍 SECS标准详尽介绍 SECS SECS 标准，用来一致各个生产设施之间以及生产设施和控制设施之间的通信，是半导体生产流程中最基本的标准。 外文名 Semiconductor Equipment and Materials Institute 简 称 SECS 拟订了 半导体设施通信标准接口 功 能 迅速地整合在 CIM 的管理系统 目录 1 引 言 2 SECS 标准简介 3 系统的硬件构成 4 鉴于 SECS 标准串口通信的实现 ? 3.1 软件的实现 ? 3.2 串口的编程 5 结 论 引 言 在高度自动化的半导体系造厂中， CIM(Computer Integrated Manufacturing) 一致管理 各设施的生产流程， 并随时监控设施过程的状态， 以减少过程失误从而降低成本及提高产品的质量。 但跟着过程的不一样， 各设施有着不一样特征的差别且各制造商所供应的设施也不尽同样，所以增添 CIM 自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不 同的设施供应商之间没有标准的通信协议。 设施供应商不向半导体生产商开放通信协议及接 口软件，这使得半导体生产商不得不成立他们自己的软件 “连结 ”，致使了项目花费的巨大增 加。 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute) 拟订了半导体设施通信标准 接口 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard) ，让 CIM 与设施间有通 用的通信标准接口， 设施制造商只需供应切合通信标准规范的设施， 即可迅速地整合在 CIM 的管理系统，不只可缩短设施开发的时间及成本，并可增添设施装机的效率达到迅速量产，从而提高产能输出。 SECS 标准简介 SECS 标准用来一致各个生产设施之间以及生产设施和控制设施之间的通信，是半导 体生产流程中最基本的标准。 SECS 协议为 点对点协议 ，它包含 2 个部分 SECS- Ⅰ和 SECS- Ⅱ。 SECS- Ⅰ为鉴于 RS232 的传输层，定义了设施和主机之间的 MESSAGE 交互的 通信 接口 ，大概相当于 ISO/OSI 模型的下边 5 层。主要包含有块 传输协议 ，MESSAGE 接收算 法和节点传输算法； SECS- Ⅱ则把 SECS- Ⅰ传输的二进制串翻译成形象直观的格式表示出 来， SECS- Ⅱ规范传输资料的标准构造和显示内容，方便使用者查察数据内容。图 1 简单 表示了 SECS 标准的典型应用，图中节点 C 代表主机，节点 A 和 B 表示设施，这些节点仅 仅是构成整个网络的一部分。依据 SECS 标准的定义，每一个节点都能够依据信息头中的 设施号位决定向哪一个节点传达信息， 依据回答位决定控制信息的传达方向是沿着树向下还 是向上。在图 1 中， 节点 A 控制着 1A 、 2A 、3A 3 个子节点，能够依据它们的不一样要求向 节点 C 发送恳求或许从节点 C 接收指令。 SECSLine 则表示了在 2 个节点之间依据 SECS 标准的电气接口。 本文联合某半导体厂的全自动化后段生产线描绘了鉴于 SECS 标准的 串口通信 的实现。 系统的硬件构成 包含  整个控制系统由生产线上的生产设施和车间的控制系统构成， 其硬件构成如图 2 所示。 3 个部分，设施和单元控制器之间经过 SECS- Ⅰ连结，其余经过局域网相连。处于最 下方的是生产流水线，单元控制器与线上每道工序相应的控制软件负责控制流水线的生产， 并将生产数据经过单元控制器上报给车间的 MES 系统，接收车间管理人员的生产指令。中 间是 MES 系统，主要负责监控和控制流水线的生产状况、储存重要的生产数据、报表等， 同时给操作管理人员供应一套管理系统来协调整个车间的生产。 最上层是工厂生产计划管理 系统，用来给更高层的管理人员供应管理上的方便。 图 2 系统构造构成框图 鉴于 SECS 标准串口通信的实现 3.1 软件的实现 系统实现了鉴于 SECS 标准的串口通信。整个通信软件分为 4 个相对独立的模块：等 待、发送、接收和竞争，详细描绘以下： 1.等候模块。在此状态下，程序处于后台运转，直到接收到以下两种恳求之一：①如 果主机 收到来自设施的一个 ENQ 信号 ( 信号的意义见图 3 ，以下同 ) ，则回送一个 EOT 信号 给设施，同时自己转入接收状态；②假如设施收到发丧命令，作以下办理： 图 3  握手成立的时序图 a.向主机发送一个  ENQ  信号，而后不停侦听能否有来自主机的  EOT  信号。在此时期， 假如超出  T2  时