6西格玛完全要因实验minihaiyang.pptx

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完全要因实验(Full Factorial Designs)MeasureDefineAnalyzeImproveControl方法论 Improve 概要 DOE 介绍 完全要因实验 对策方案选定什么是完全要因实验 学习目的完全要因实验的理解 - 完全要因实验的定义和特征 - 主效果与交互作用的计算方法及分析 - 最佳条件导出方法2. 利用Minitab的完全要因实验的设计及分析理解 什么是完全要因实验 定义 对因子的全部水准组合,任意抽样实验 Kn 要因实验是对K水准、n个因子的所有水准组合, (Kn)进行实验 - 22要因实验是2水准、2个因子组成 - 23 要因实验是2水准、3个因子组成 适合于特性化 /最佳化阶段 对主效果和交互作用的效果都能进行评价。所规定的实验领域内的全部过程(Point)中可以推定输出 (反应)值。.通过反复实验可以求出实验误差。 特性什么是完全要因实验22 设计的标准排列因子的低水准表示为“-” 或 “-1” 高水准表示为 “+” 或 “+1” 22 要因实验的标准排列如下。反应温度 浓度 - 1 - 1 +1 - 1 -1 +1 +1 +1什么是完全要因实验 23 设计的标准排列22 要因实验23 要因实验23 要因实验包含着 22 要因实验。5283反应温度 浓度 数率+1浓度-1-1 -1+1 -1 -1 +1+1 +1 607252836072-1 反应温度 +1主效果(Main Effect) 主效果意味着根据因子水准变化的反应值平均变化。即, 显示因子对反应值有多大影响。浓度的效果 = [ ( 对应+的数合计 ) - ( 对应-的数合计 ) ] / ( +(-) 符号数 ) = [ ( 52 + 83 ) - ( 60 + 72 ) ] / 2 = 3/2 = 1.5 浓度随着浓度变化增加(低 - 高),数率平均也增加 1.5 左右。? 主效果 Plot反应温度对数率影响大,但浓度对此几乎没有影响。但此因子间交互作用,可能是歪曲的判断结果,所以没有交互作用的前提下才能说这结论是准确。交互作用(Interaction Effect)交互作用 除了各因子的个别效果之外,因子组合特别效果有无? 交互作用:因2因子以上特定因子水准组合而出现的效果。 ? 交互作用存在与否 - 一个因子的效果随着另一个因子水准的变化而变化时, 存在交互作用效果。交互作用(Interaction Effect)5283反应温度是低水准(-1)时 : 随着浓度由低水准转为高水准,数率减少8反应温度是高水准(+1)时:随着浓度由低水准转为高水准时,数率增加 11+1浓度-1? = -8? = +116072-1 反应温度 +1浓度的效果随着温度水准而不同,所以存在温度与浓度的交互作用。交互作用(Interaction Effect)? 交互作用效果 Plot因反应温度与浓度之间有交互作用,所以不仅看主效果Plot,应根据交互作用效果Plot判断数率的变化。 数率 B=+1B=-1+1+1-1-1 -1 +1 A 无交互作用状态 B=+1B=-1数率 B=+1B=-1数率+1+1+1-1+1-1-1-1 -1 +1 A -1 +1 A交互作用非常大有交互作用交互作用(Interaction Effect)? 交互作用的有?无没有交互作用时,对应相对因子各水准的输出变量变化是平行。有交互作用时,对应相对因子各水准的输出变量变化是交叉或不平行。完全要因实验的例通过测定和分析阶段,得知影响半导体制造A 工程数率(输出变量)的因子(输入变量)是温度,浓度及压力。1阶段: 问题记述Process Engineer知道对半导体数率的温度,浓度及压力的效果。2阶段: 设定因子及水准,用Minitab作成实验DATA SHEET 因子及水准 反应温度 (℃) : 160℃ (-1) , 180 ℃ (+1)B 浓度 (%) : 20% (-1) , 40% (+1)C 压力(psi) : 5

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