扫描电子显微分析.pptxVIP

扫描电子显微分析;3.5 扫描电子显微分析 3.5.1扫描电子显微镜; 聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。 ;;3.5 扫描电子显微分析 3.5.1扫描电子显微镜;3.5 扫描电子显微分析 3.5.1扫描电子显微镜;扫描系统 扫描信号发生器 扫描放大控制器 扫描偏转线圈;3.5 扫描电子显微分析 3.5.1扫描电子显微镜;;5.5 扫描电子显微分析 5.5.1扫描电子显微镜;3.5 扫描电子显微分析 3.5.1扫描电子显微镜;3.5 扫描电子显微分析 3.5.1扫描电子显微镜;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;;;;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度; 从上述的背散射电子特点可知，背散射电子发射系数和试样表面倾角以及试样的原子序数二者有关，背散射电子信号中包含了试样表面形貌和原子序数信息，像的衬度既有形貌衬度，也有原子序数衬度，因此，可利用背散射电子像来研究样品表面形貌和成分分布。; 背散射电子能量大，运动方向基本上不受弱电场的影响，沿直线前进。在用单个电子探测器探测时，只能探测到面向探测器的表面发射的背散射电子，如图2－78a，所成的像具有较重的阴影效应，使表面形貌不能得到充分显示（图2－79）。;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜图象及其衬度;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜试样制备;2．块状试样 扫描电镜的试样制备是比较简便的。对于块状导电材料，除了大小要适合仪器样品座尺寸外，基本上不需要进行什么制备，用导电胶把试样粘结在样品座上，即可放在扫描电镜中观察。对于块状的非导电或导电性较差的材料，要先进行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图象质量。并可防止试样的热损伤。;3.5 扫描电子显微分析 3.5.2 扫描电镜试样制备;离子溅射镀膜优点是： （1）装置结构简单，使用方便，溅射一次只需几分钟，而真空镀膜则要半个小时以上。 （2）消耗贵金属少，每次仅约几毫克。 （3）对同一种镀膜材料，离子溅射镀膜质量较好，能形成颗粒更细、更致密、更均匀、附着力更强的膜。