传感器及检测技术相关知识项目六测量气体和压力-湿敏传感器.pdfVIP

* 湿敏传感器 随着现代工业、农业技术的发展与人们生活水平的提高，湿度的检 测与控制成为生产和生活中必不可少的手段。例如大规模集成电路 生产车间，当其相对湿度低于30%RH时，容易产生静电而影响生产； 一些粉尘大的车间，当湿度小而产生静电时，容易产生爆炸；一些 仓库 （如存放烟草、茶叶、中药材等）在湿度过大时，容易发生变 质或霉变现象。在农业上，先进的工厂式育苗、食用菌的培养与生 产，水果及蔬菜的保鲜等都离不开湿度的检测与控制。 1. 湿度的表示方法 湿度是表示空气的干燥程度或空气中水蒸气含量的物理量。通 常有绝对湿度、相对湿度和露点 （或露点温度）3种表示方法。 （1）绝对湿度 绝对湿度是指在一定温度和压力条件下，单位体积空气内所含 的水蒸气质量，一般用一立方米空气中所含的水蒸气的克数表示，即 AH=m/V （6-1） 式 （6-1）中，AH为待测空气的绝对湿度，m为待测空气中水蒸 气的质量，V为待测空气的总体积。 （2）相对湿度 相对湿度是指空气中实际所含水蒸气的分压 （P）和相同温度 下饱和水蒸气分压 （P ）的百分比，即 = × 100% （6-2） 式 （6-2）中，常用%表示，为温度。水蒸气分压是指空气 （体积为，温度为）中的水蒸气在相同、条件下单独存在时的 压力。饱和水蒸气分压是指在同一温度下，空气中所含水蒸气分压 的最大值。温度越高，饱和水蒸气的分压越大。相对湿度体现了大 气的潮湿程度，在实际中多使用相对湿度这一概念。 （3）露点 在一定大气压下，将含有水蒸气的空气冷却，当温度下降到某 一特定值时，空气中的水蒸气达到饱和状态，开始从气态变成液态 而凝结成露珠，这种现象称为结露，这一特定温度称为露点温度， 简称露点。在一定大气压下，湿度越大，露点越高。 2.湿敏传感器的特性及分类 湿敏传感器是一种能产生与湿度变化有关的物理或者化学反 应，并将其转换成电信号的装置。主要由两个部分组成：湿敏元 件和测量电路，除此之外还包括一些辅助元件，如辅助电源、温 度补偿、输出显示设备等。 湿敏传感器的主要特性有以下几点： （1）感湿特性：湿敏传感器的特征量 （如电阻、电容、频率等）随湿度变化 的关系，常用感湿特征量和相对湿度的 关系曲线来表示，如图6-10所示。 （2）湿度量程：表示湿敏传感器技术规 范规定的感湿范围。全量程湿度为 （0~100）%RH。 图6-10 湿敏传感器的感湿特性 （3）灵敏度：湿敏传感器的感湿特征量 （如电阻、电容等）随环境湿度变化的程 度，也是该湿敏传感器感湿特性曲线的斜 率。由于大多数湿敏传感器的感湿特性曲 线是非线性的，因此常用不同环境下的感 湿特征量之比来表示其灵敏度的大小。 （4 ）湿滞特性：湿度传感器在吸湿过程和 脱湿过程中吸湿与脱湿曲线不重合，而是 一个环形回线，这一特性就是湿滞特性， 图6-11 湿敏传感器的湿滞特性 如图6-11所示。 （5）响应时间：在一定环境温度下，当相对湿度发生跃变时，湿 敏传感器的感湿特征量达到稳定变化量的规定比例所需的时间。 一般以相应的起始湿度和终止湿度这一变化区间的90%RH的相对 湿度变化所需要的时间来计算。 湿敏传感器种类繁多。按输出的电学量可分为电阻式、电容 式、频率式等；按探测功能可分为绝对湿度式、相对湿度式、结 露式等；按材料可分为陶瓷式、高分子式、半导体式、电解质式 等。下面按照材料分类介绍几种常见的湿敏传感器。 3.常见的湿敏传感器 （1）氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻是属于电解质式的湿敏传感器，它是利用吸湿性 盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的湿敏元件。氯化锂湿敏电阻 如图6-7所示，它由引线、基片、感湿层与电极组成。氯化锂通常与聚 乙烯醇组成混合体，当溶液置于一定温湿场中，若环境相对湿度高， 溶液将吸收水分，浓度降低