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石 家 庄 金 兰 工 业 炉 有 限 公 司
氨 分 解 制 氢 带 纯 化 装 置 是 我 公 司 设 计 的 一 种 为 用 户 服 务 的 新 产
品 ,是 氨 分 解 与 有 热 在 生 气 体 纯 化 制 造 成 一 体 化 的 装 置 ,其 工 作 原 理 ,
设 备 操 作 及 日常 维 护 等 说 明 如 下 :
一 . 工 作 原 理
1. 摩 尔 氨( 气 态 )在 一 定 的 压 力 和 温 度 及 镍 触 媒 催 化 下 ,可 分
解 为 3/2 摩 尔 的氢 气 和 ? 摩 尔 的 氮 气 , 并 吸 收 一 定 的 热 量 ,
其 化 学 方 程 式 如 下 :
加 热
2NH 3 3H 2 +N 2 -Q
分 解 后 的 氢 .氮 混 合 气 体 利 用 变 温 吸 附 在 生 的 原 理 , 经 13X
分 子 筛 床 吸 附 其 中 的 水 份 及 残 氨 ,并 保 持 其 性 质 不 变 ,从 而
达 到 干 燥 纯 化 的 目 的 , 而 13X 分 子 筛 经 加 热 , 用 纯 化 气 冲
洗 , 解 吸 被 分 子 筛 吸 的 水 分 .残 氨 。 从 而 达 到 在 生 重 复 使 用
的 目 的 。
二 . 氨 分 解 制 氢 的 优 点 :
用 此 法 制 得 的 气 体 是 一 种 良 好 的 保 护 气 体 ,可 以 广 泛 的 应 用 于 半
导 体 工 业 , 冶 金 工 业 , 以及 需 用 保 护 气 氨 的 其 它 工 业 和 科 学 研 究 中 ,
氨 分 解 制 保 护 气 体 , 在 工 业 上 是 很 容 易 实 现 的 , 这 是 因 为 :
1. 氨 易 分 解 : 在 压 力 不 高 , 化 剂 作 用 下 ,温 度 控 制 在 750C -
800C 时 氨 可 大 量 分 解 , 其 分 解 率 可 达 到 99 。 9 % 。
2 . 气 体 精 制 容 易 :作 为 原 料 的 液 态 氨 纯 度 很 高 的 ,其 中 挥 发 性
杂 质 只 有 溶 解 在 液 氨 中 的 少 量 惰 性 气 体 和 水 分 , 几 乎 不 含
氧 , 同 时 氨 分 解 所 得 气 体 经 13X 分 子 筛 床 吸 附 可 除 去 其 中
的 水 分 ,其 露 点 可 达 到 60C, 残 氨 小 于 5PPm 即 为 精 制 的 氢 氮
混 合 气 ,这 样 可 以 实 现 半 导 体 工 业 上 所 不 希 望 存 在 的 有 害 的
非 金 属 元 素 例 如 : 氯 和 氧 。
3. 在 我 国 原 料 液 氨 容 易 得 到 ,价 格 低 廉 ,而且 原 料 消 耗 也 比较
少 (每 公 斤 氨 可 产 生 2.5NM 混 合 气 体 )
三 . 工 艺 流 程 :
液 氨 经 减 压 后 进 入 分 解 炉 内 , 装 有 活 化 的 触 媒 , 在 750C - 800
温 度 下 进 行 分 解 , 气 态 氨 回 收 热 量 后 进 入 分 解 炉 分 解 , 分 解 后
高 温 气 体 在 热 交 换 器 内 与 气 态 氨 进 行 热 交 换 , 分 解 气 降 温 , 进
入 干 燥 器 (13X 分 子 筛 床 层 ) 除 去 残 余 水 分 及 其 它 杂 质 。 其 纯
度 可 达 到 如 下 :露 点 - 60C ,残 氨 5PPm 以 下 ,而 干 燥 器 一 般 设
置 两 台 , 一 台 吸 附 干 燥 氨 分 解 气 , 另 一 台 在 加 热 状 态 下
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