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- 2021-10-11 发布于北京
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典型微器件和微系统II
微米纳米技术研究中心
叶雄英
2015.3.19
微执行器
微型静电致动器：
旋转马达
平板电极致动器离面运动
梳状致动器面内运动
Optical MEMS
RF MEMS
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